“上海－应用材料研究与发展”基金(06SA11)
- 作品数：4 被引量：1H指数：1
- 相关作者：赖宗声郭兴龙欧阳炜霞刘蕾王超更多>>
- 相关机构：华东师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
- 2009年
- 以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果,减小了刻蚀的时间。此研究应用在表面微细加工工艺中,对MEMS加工工艺具有一定的参考价值。
- 王超张永华郭兴龙欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：射频微机械开关牺牲层聚酰亚胺正胶刻蚀
- 基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
- 2008年
- 介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态。实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右。
- 刘蕾郭兴龙欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：可调滤波器
- 无线通讯用硅基微小天线的设计与制作
- 2007年
- 采用微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dB,谐振频率约为3GHz,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容,并且对于无人驾驶飞机、卫星等飞行器的雷达和通讯等天线系统的设计具有参考价值。
- 郭兴龙蔡描刘蕾游淑珍赖宗声
- 关键词：集成电路工艺
- 无线通讯用硅基微小天线
- 2008年
- 采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容.
- 郭兴龙金妍刘蕾欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：IC工艺
