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博士科研启动基金(101-210710)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
白力静
蒋百灵
贠柯
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相关机构:
西安理工大学
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发文基金:
博士科研启动基金
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白力静
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材料热处理学...
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1篇
2009
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Ti靶电流对CrTiAlN镀层组织结构及硬度的影响
被引量:6
2009年
利用磁控溅射技术在高速钢和单晶硅基体上沉积CrTiAlN梯度镀层,研究Ti靶电流对CrTiAlN镀层组织、相结构及硬度的影响。利用EDS、XRD和SEM分析镀层的成分、相结构及形貌,采用显微硬度计测量镀层的硬度。结果表明:随着Ti靶电流的增大,镀层中的Ti原子逐渐置换CrN中的Cr原子形成Cr-Ti-N体系,同时出现少量的TiN相;镀层生长的择优取向由(111)晶面逐渐转变为(200)晶面;镀层柱状晶的结构更为致密,其表面形貌由三棱锥结构逐步变为胞状结构;随Ti靶电流的增大,镀层硬度逐渐由1267HV升至1876HV。
贠柯
蒋百灵
白力静
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