国家重点基础研究发展计划(6135602)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
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- 基于Al_xN_y绝缘介质膜的新型窗口大功率半导体激光器被引量：4
- 2009年
- 提升半导体激光器的腔面抗光学灾变(COD)损伤的能力,改善半导体激光器的工作特性,一直是大功率半导体激光器器件工艺研究的难点。基于薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理,采用直流磁控溅射方法在不同条件下溅射生成不同内应力的Al_xN_y绝缘介质膜。通过研究大功率半导体激光器腔面退化机理,借助Al_xN_y等应力膜设计制作了一种新型非吸收透明窗口结构的宽条形半导体激光器,使器件平均最大输出功率提高46.5%。垂直发散角达到21°,水平发散角达到6.1°,2000 h加速老化试验,其千小时退化速率小于0.091%。
- 乔忠良薄报学么艳平高欣张晶王玉霞刘春玲卢鹏李辉曲轶
- 关键词：激光器高功率半导体激光器ALN应力
- 无吸收模式滤波结构高亮度大功率宽条形半导体激光器被引量：5
- 2011年
- 提升宽条形半导体激光器水平方向激射光输出的光束质量,改善宽条形半导体激光器的工作特性,一直是大功率、高亮度宽条形半导体激光器器件工艺研究的难点。基于激射光在无源波导内的衍射原理制备宽条形半导体激光器的模式滤波结构,利用AlxNy绝缘介质薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理制备无吸收无源波导。将两者结合,设计制备了带有无吸收模式滤波器结构的宽条形半导体激光器,使器件平均最大输出功率提高49%,垂直发散角达20.6°,水平发散角达3.3,°3500 h老化实验,其千小时退化率小于0.085%。
- 乔忠良薄报学高欣张斯钰王玉霞芦鹏李辉王勇李特李再金曲轶刘国军
- 关键词：激光器ALN应力
