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溅射法制备多层膜沉积速率的标定被引量：5: 2010年; 为消除溅射沉积多层膜过程中产生的膜厚随机误差,实现多层膜膜厚的精确控制,提出了一种精确标定薄膜沉积速率的方法。该方法通过对多次实验结果进行最小二乘拟合得到薄膜沉积速率。对随机误差基本特性的分析表明,随着实验次数的增加,沉积速率将逐渐逼近真值。基于这一原理,可以对薄膜的沉积速率进行精确标定,同时提取出膜厚随机误差,进而确定镀膜机的膜厚控制精度,获得精确控制多层膜膜厚所需要的完整信息。选用两种精度不同的沉积设备,采用提出的方法对所制备的多层膜进行了测试。结果表明,多层膜的膜厚控制精度随沉积设备而异:其中低成本的普通镀膜机只能实现0.1 nm的膜厚控制精度;而另一台性能较高的镀膜机的膜厚控制精度优于0.01 nm。; 张立超; 关键词：多层膜溅射法沉积速率控制精度

晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定被引量：2: 2010年; 晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段。在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的。采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定。本文提出了精确标定Tooling Factor的方法,并对这种方法进行了实验验证。结果表明,该方法能够将膜厚控制误差从～20%降低到6%的水平,从而使多层膜的反射率曲线更加接近设计结果,实现多层膜膜厚的精确控制。; 张立超; 关键词：TOOLING FACTOR

纳米级薄膜厚度的精确测量被引量：7: 2010年; 对于纳米级多层膜来说,膜厚的精确测量至关重要。本文针对X射线衍射测量薄膜厚度的方法,对所能够获得的测量精度进行了研究。结果表明,无论是单层膜还是多层膜,实现样品台的精密装调都是获得膜厚精确测量结果的前提条件;而在实现了精密装调的情况下,由于多层膜具有相对较窄的衍射峰,因此能够提取出更为精确的峰位数据,与单层膜相比,能够得到更精确的膜厚;经过合理地选择衍射峰,能够获得优于0.01nm的多层膜周期厚度测量精度。; 张立超; 关键词：膜厚 X射线衍射

Fabrication and efficiency measurement of a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for extreme ultraviolet region被引量：4: 2009年; We fabricate and measure a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for the extreme ultraviolet wavelength region. The fabrication process is carefully controlled so that the grating groove and multilayercoating parameters well meet the design targets. At an incident angle of 10°, the peak diffraction efficiency of the ＋1st order is 20.6% at 14.56 nm and that of the -1st order is 22.1% at 14.65 nm, both close to the theoretical limits.; 林慧张立超金春水周洪军霍同林; 关键词：MULTILAYERS

利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法: 2007年; 在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素。通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度。叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平滑层对基底粗糙度减小效果的影响。结果表明,当工艺参数选择合适时,在粗糙基底上镀制平滑层,可以减小基底粗糙度。; 张立超金春水; 关键词：极紫外多层膜功率谱密度

多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究: 2011年; 衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标。为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬底的槽形不发生变化。针对极紫外波段所采用的矩形光栅衬底,对其镀膜过程中的槽形变化进行了考察。结果表明,多层膜周期数对保持光栅槽形至关重要。对于槽深在2～5nm的极浅槽深矩形光栅,为确保光栅槽形不发生变化,必须选择合适的多层膜周期数。按照这一原则制备的多层膜矩形光栅,在14.65nm处-1级衍射效率实测结果为22.1%,超过了国内外同类实验结果的最高报道值。; 张立超; 关键词：极紫外

极紫外多层膜光栅技术研究进展被引量：2: 2011年; 极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能,在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔的应用前景。介绍了极紫外多层膜光栅的应用;从光栅衬底制备与多层膜沉积两方面对多层膜光栅制备技术的研究进展进行了分析;并从实际应用角度出发,对未来多层膜光栅技术研究的发展趋势作了展望。; 张立超; 关键词：极紫外衍射效率

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国家自然科学基金(60678034)