国家高技术研究发展计划(2002AA306421) 作品数:14 被引量:14 H指数:3 相关作者: 刘娟秀 补世荣 羊恺 罗正祥 刘霖 更多>> 相关机构: 电子科技大学 电子工程学院 更多>> 发文基金: 国家高技术研究发展计划 国家自然科学基金 四川省青年科技基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 一般工业技术 电气工程 更多>>
Study of High-Temperature Superconductor Diplexers for Satellite Communications 被引量:1 2005年 The high-temperature superconductor (HTSC) resonator and diplexer are simulated by full-wave tools. A newly developed miniature HTSC diplexer is designed and fabricated on double sided YBa2Cu3O7 (YBCO) film (YBCO/LaAlO3/YBCO), the thickness of which is 400 nm for YBCO and 0.5 mm for the LaAlO3. The measured results show a good agreement with the simulation. The volume and mass of the diplexers are greatly reduced by miniaturized configuration. 刘娟秀 羊恺 罗正祥 补世荣 宁俊松 张天良关键词:MICROWAVE DIPLEXER 利用H_3PO_4液层侧面红外热像研究YBCO高温超导薄膜的激光辅助刻蚀特性 被引量:3 2006年 利用红外热像实时监测系统,获取钇钡铜氧激光辅助化学刻蚀中H3PO4液层的侧面红外热像,研究了其溶液温度分布与热对流特性,并对红外监测数据与钇钡铜氧薄膜激光化学刻蚀特性的关系进行了分析.主要实验结论包括:红外灰度图可真实反映溶液的温度分布和热对流情况,为激光化学刻蚀的热环境分析提供有价值的红外监测数据;通过任意时刻钇钡铜氧表面生成热流所到达高度的分布情况和该时刻的红外灰度图,分析出钇钡铜氧薄膜表面各区域的腐蚀启动先后和刻蚀程度差异等重要信息,为钇钡铜氧及其它材料的激光化学刻蚀特性的实时监测提供了一种新的技术手段. 刘娟秀 羊恺 补世荣 张天良 宁俊松 罗正祥关键词:红外技术 高温超导 钇钡铜氧 大幅减小刻蚀误差影响的高温超导滤波器研制 2007年 研制了一种具有良好刻蚀容差性能的类发夹型高温超导滤波器,在同等刻蚀条件下,达得更高的性能指标.在给出计算与设计过程的基础上,对出现大幅度欠腐蚀50μm的类发夹型滤波器进行实际测试,其中心频率只偏移约30MHz,并对该结构与直线型结构的刻蚀容差性能进行深入的比较分析,对类发夹型谐振器,每欠腐蚀2μm,谐振频率比正常腐蚀偏低1MHz,约为直线型谐振器的1/4,实验测试结果与之较好吻合.该研究结果,大幅降低了滤波器制作对刻蚀技术精度的依赖性,具有广泛的应用前景. 刘娟秀 羊恺 补世荣 宁俊松 张天良 罗正祥关键词:高温超导 滤波器 谐振器 激光化学刻蚀YBCO高温超导薄膜进程中电流与红外特性 2007年 利用自行研制的电流与红外实时监测系统,研究了YBCO高温超导薄膜激光辅助化学刻蚀进程中溶液腐蚀电流与红外辐射的变化规律,为YBCO激光化学刻蚀技术中激光功率选择,腐蚀液配比,温度控制以及刻蚀时间的掌握提供了重要的实验依据。主要研究结论包括:YBCO薄膜激光化学刻蚀中溶液腐蚀电流初始值较大,增长速率相对稳定,观察到“陡降峰”的出现,并与无激光辐照下的溶液腐蚀电流变化曲线进行对比,分析了可能的原因;通过对腐蚀溶液的侧面红外实时监测,观察化学热的生成及其对流情况,发现激光辐照使YBCO薄膜刻蚀速率加快,而且除激光化学作用外,腐蚀液自身温度升高也是导致刻蚀速率加快的重要因素。 羊恺 刘娟秀 刘霖 叶玉堂 补世荣 罗正祥关键词:高温超导薄膜 钇钡铜氧 红外特性 半导体激光化学刻蚀溶液浓度的电流变化选择法 2007年 提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——利用腐蚀电流特性和腐蚀图像均匀度相结合的方法,选择出适合的腐蚀溶液。该方法可以提高激光液相腐蚀的性能,解决腐蚀溶液选择的诸多难题,在特殊结构光电器件和光电集成中具有很好的应用前景。 羊恺 刘娟秀 补世荣 罗正祥关键词:电流特性 YBCO高温超导薄膜激光化学腐蚀进程的实验观测 被引量:5 2006年 提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧(YBCO)高温超导薄膜的刻蚀,研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律,在激光辐照下,YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快,并且在整个过程中,刻蚀速率呈现加快趋势,这一特性将有可能用于改善YBCO刻蚀中的横向钻蚀情况,并提高图形边缘的侧壁陡峭度。 羊恺 曾华新 刘娟秀 补世荣 罗正祥关键词:高温超导薄膜 钇钡铜氧 高温超导薄膜在激光辅助化学刻蚀中的表面特性 被引量:6 2007年 提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧(YBCO)高温超导薄膜的刻蚀,研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律,为YBCO激光化学刻蚀技术中图形形状控制、刻蚀时间选择和激光功率调节等提供了重要的实验结论。研究发现:在激光辐照下,YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快,将极大改善刻蚀中的横向钻蚀情况,并提高图形边缘的侧壁陡峭度,且整个过程中的刻蚀速率呈现加快趋势;无掩膜时,YBCO表面刻蚀程度持续过渡,激光光斑边界两侧并非严格分界;衬底铝酸镧(LaAlO3)的晶向对YBCO薄膜的表面刻蚀特征有较大影响,沿LaAlO3晶向方向的刻蚀程度高于非晶向方向。 刘娟秀 羊恺 补世荣 张天良 宁俊松 罗正祥关键词:高温超导薄膜 浅H_3PO_4液层下YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的红外实时表征 被引量:1 2007年 提出利用红外热像实时监测系统,实时获得在YBCO高温超导薄膜上H3PO4腐蚀浅液层的红外灰度数值分布,并以浅液层热交换简化模型为基础,通过归一化红外灰度标准差值表征YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的变化。理论分析与实验结果均表明,由归一化红外灰度标准差值的变化曲线,可以清楚展现YBCO高温超导薄膜表面粗糙度增大、减小以及趋于平缓的3个阶段,并能直接获得每个阶段所对应的时间。在本实验条件下,表面粗糙度在8s时达到最大值,然后逐渐下降,到40s时开始趋于稳定。浅液层条件下的YBCO高温超导薄膜表面粗糙度的成功观测,是一个重要的阶段目标,为最终解决YBCO高温超导薄膜湿法刻蚀中粗糙度的实时监测难题奠定了良好基础。 刘娟秀 罗正祥 羊恺 刘霖 补世荣 张天良 叶玉堂关键词:超导薄膜 红外热像 粗糙度 钇钡铜氧 YBCO高温超导微带线的非平衡光响应及其恢复时长 2007年 研究了在波长为0.68μm的连续激光辐照下,钇钡铜氧(YBCO)高温超导(HTS)微带线的非平衡光响应特性,并从超导体机制探索和光响应超导器件研制两个角度对实验现象进行讨论。实验观察到高温超导微带线的非平衡光响应阈值,当功率小于15 mW时,以辐射热效应为主;当功率大于15 mW时,出现非平衡光响应。该阈值的发现,是对Zeldov的“热效应”与“光子效应”同时存在理论的进一步完善,并设想了一种新型的高温超导衰减器;研究了高温超导微带线非平衡光响应的恢复时长,当激光功率为45 mW时,恢复时长约为3.5 s,分析了该时长存在的机制及其对光响应超导器件二次激光激励的影响。 刘娟秀 羊恺 刘霖 补世荣 段杏娜 罗正祥 叶玉堂关键词:激光辐照 高温超导 光响应 钇钡铜氧 高温超导开口环小型化宽带滤波器 被引量:4 2007年 提出了一种小型化半波长开口环结构谐振器,研究了谐振器间的强电场耦合和强磁场耦合,在14.8mm×9.6mm的YBCO/LAO/YBCO双面超导薄膜上设计并制作了具有全新电路结构的6级高温超导(HTSC)开口环小型化微带线切比雪夫滤波器,在77K时测得其中心频率为2230MHz,带宽为455MHz,通带内最小插损为0.14dB.此种结构的高温超导滤波器在移动通信和卫星通讯领域将具有广泛的应用前景. 张天良 羊恺 宁俊松 补世荣 刘娟秀 罗正祥关键词:滤波器 小型化 开口环 高温超导 宽带