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上海市科学技术委员会资助项目(0352nm010)
作品数:
2
被引量:8
H指数:2
相关作者:
孙洪文
刘景全
顾盼
陈迪
陈迪
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相关机构:
教育部
河海大学
上海交通大学
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发文基金:
上海市科学技术委员会资助项目
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相关领域:
化学工程
自动化与计算机技术
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纳米压印
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聚焦离子束
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刘景全
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孙洪文
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陈迪
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顾盼
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1篇
2008
1篇
2004
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低温纳米压印技术制备微纳图案的研究
被引量:3
2008年
纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上,然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-8 2000.1和Hybrane胶体转移图案,能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移。采用的印章制备方法是聚焦离子束(FIB)直接在衬底上制备图案,从而避免了传统工艺中效率较慢的电子束加工和取消了反应离子刻蚀步骤;并且采用FIB方法可同时在衬底上制备微米、纳米尺度的图案。实验结果表明用FIB方法可以得到比较均匀致密的微纳米图案印章,经过低温纳米压印后可成功地实现微纳图案的复制。
孙洪文
刘景全
陈迪
关键词:
纳米压印
聚焦离子束
一种适于热压印成型的新塑料——PETG
被引量:5
2004年
通过将聚合物加热到其玻璃化温度以上 ,然后施加压力将模具上的图案转移到聚合物上的热压印成型方法 ,尝试一种新型塑料———PETG。将PETG与其它材料的热压印进行了对比性研究 ,并测试了四种不同模具对PETG的压印 ,实验结果表明 ,其复制精度都较高 。
孙洪文
刘景全
陈迪
顾盼
关键词:
热压印
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