应用光学国家重点实验室开放基金(Y2Q03FQK02)
- 作品数：3 被引量：6H指数：1
- 相关作者：卢启鹏龚学鹏彭忠琦高飒飒宋源更多>>
- 相关机构：中国科学院大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学一般工业技术更多>>
- 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立被引量：1
- 2013年
- 为有效评估和预测在极紫外光辐照下，极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况，建立了光学元件表面碳沉积的复杂理论模型，描述了残留碳氢化合物在光学表面的传输，在极紫外光子和二次电子激发下引起的分子分解，并在光学表面形成碳沉积层的过程。模型预测结果和实验数据吻合得很好。理论分析表明引起碳氢化合物分解的主要原因是光子分解而不是二次电子分解。碳层的增长依赖于碳氢化合物气体偏压和极紫外光强，具有较轻分子量的碳氢化合物（〈～100 amu）对污染的贡献很小。同时当基底温度适度增加时（～30 ℃），能够加速表面碳氢化合物分子的解吸附，可有效减少碳污染。
- 鹿国庆卢启鹏彭忠琦龚学鹏
- 关键词：光学器件极紫外光刻二次电子
- 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析被引量：4
- 2013年
- 针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。
- 高飒飒卢启鹏彭忠琦龚学鹏
- 关键词：有限元分析
- 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响被引量：1
- 2014年
- 针对变包含角平面光栅单色器前置平面镜(PM)受热负载而导致的单色器分辨率降低问题,提出优化聚焦常数(C ff)补偿分辨率的方法。首先,计算不同C ff值时PM的热功率吸收谱,在此基础上对镜面热负载进行热-结构耦合分析,得到不同热负载时PM表面热变形的变化量;然后,结合理想分辨率公式和光线追迹软件求出加热负载的单色器分辨率;最后,优化C ff实现分辨率的补偿。研究结果表明,以软X射线谱学显微光束线站为例,当出射光能量为1 000 eV时,将C ff由1.8优化至1.84,单色器分辨率即可与无热负载时的相同,该优化方法可有效补偿单色器分辨率的降低。
- 宋源卢启鹏彭忠琦龚学鹏
- 关键词：热负载分辨率
