中国航空科学基金(2013ZC53036)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
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- 梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响被引量：1
- 2014年
- 为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。
- 乔大勇杨璇夏长锋曾琪潘春晖练彬
- 关键词：扫描镜非线性动力学
- 闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟被引量：2
- 2016年
- 基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0-10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
- 李晓莹吴焱虞益挺刁金帅闫治晚
- 关键词：微机电系统衍射效率
