国家自然科学基金(60977029)
- 作品数：6 被引量：12H指数：3
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- 准分子激光线宽对光刻性能的影响
- 2010年
- 描述了激光线宽对光刻过程的影响模型建立过程中所使用的方法。成像透镜产生的色差结合实际激光光谱可以把激光线宽的影响包括在光刻模拟的模型中,使用PROLITH软件模拟了线宽对空间像的临界尺寸、焦深、曝光宽容度的影响,孤立线和半孤立线条尺寸在240nm到140nm的范围内完成研究。实验结果表明,光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差,较大的线宽也导致了曝光宽容度的损失。
- 刘逸轩周金运欧阳琴
- 关键词：准分子激光线宽光刻模拟
- 基于拉普拉斯滤波的形态相关器
- 2010年
- 本文提出了一种基于拉普拉斯滤波的形态相关器(LBMC),用来改进传统光学形态相关器的性能。与形态相关器不同,在执行最后的傅里叶变换之前,LBMC还须对传统形态相关器的联合功率谱做拉普拉斯能谱强度滤波处理。计算机模拟测试结果表明,与线性相关和形态相关器相比,LBMC能够产生强而尖锐的相关信号,具有更强的识别能力。当输入图像受椒盐噪声影响时,LBMC保持了高且稳定的自相关-互相关比和峰噪比,从而表现出更强的鲁棒性。尽管当乘法照明因子大于1时,LBMC丧失了传统MC的照明不变识别能力,但其保证相当高的识别度。
- 王衢陈丽周金运
- 关键词：椒盐噪声鲁棒性
- 一种新型投影曝光调焦方法被引量：1
- 2013年
- 为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量。
- 冉坐周金运雷亮周亚梅邓亚飞
- 关键词：投影光刻调制传递函数调焦
- 新型大面积PCB光刻投影物镜设计被引量：3
- 2013年
- 针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构,放大倍率为-1,数值孔径NA=0.06,单次曝光面积Φ=80mm,具有优于7μm的分辨力和120μm的焦深。通过对该镜头进行公差分析,表明最紧公差为部分元件倾斜要小于0.017°。用MonteCarlo方法模拟了制造50组镜头的成像质量,得到在空间频率72line/mm处,90%的镜头的MTF>0.58,因此加工装配时能保证90%以上的成品率。
- 邓亚飞周金运雷亮冉坐周亚梅
- 关键词：光刻投影物镜
- 非物理专业量子力学教学方法探讨被引量：6
- 2010年
- 针对非物理专业学生的数学和普通物理基础通常比较薄弱情况,从量子力学发展史、物理思想实质的掌握、理论与实际的联系、类比教学法等4个方面对如何在非物理专业开展量子力学教学进行了探讨,以此培养学生对这类理论性课程学习的兴趣和主动性,从而进一步提高教学质量.
- 王衢陈丽周金运
- 关键词：量子力学非物理专业
- 数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
- 2013年
- 针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。
- 刘海勇周金运雷亮刘丽霞刘志涛郭华
- 关键词：数字光刻光学设计
- Test for optical systems in Laser Projection Imaging for PCB
- Projection imaging is one of the most important steps in the fabrication of Printed Circuit Board.In order to ...
- Qin Ouyang
- 关键词：LITHOGRAPHY
