中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金(S20090802)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
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- 相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所清华大学更多>>
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- 含氢电极脉冲放电等离子体特性诊断被引量：4
- 2011年
- 利用飞行时间质谱法诊断了含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体成分、离子电荷状态及离子扩散速度等特性。实验结果表明,含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体的离子成分主要由H+,Ti+,Ti2+和Ti3+组成,其中Ti2+占主要部分。当放电电流为40～80 A时,Ti离子的平均电荷数在1.95～2.13之间,随着放电电流的增大,平均电荷数也会增加。同时诊断了不同离子的扩散速度,其值均在104m/s量级,但不同离子的扩散速度有所不同。
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- 关键词：飞行时间
- 混合离子束阴极真空弧等离子体鞘层特性被引量：2
- 2012年
- 基于无碰撞模型,建立了混合离子束阴极真空弧等离子体鞘层动力学模型,给出了解析表达式。针对材料改性中应用的H-Ti混合离子束,模拟计算了鞘层厚度和靶表面电场强度分别随离子密度和偏置靶压的演变规律。针对实际应用中出现的鞘层击穿和离子束散焦现象进行了理论分析,发现离子束稳定工作区域强烈依赖于离子密度和偏置靶压等参数,降低离子密度和提高靶压会增加稳定工作区域范围。
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