国家自然科学基金(10272098)
- 作品数：7 被引量：24H指数：3
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- 相关机构：中国科学技术大学安徽师范大学合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士科研启动基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 消像差光栅的理论及实验研究被引量：8
- 2003年
- 对消像差光栅进行了理论和实验研究。用光程函数和费马原理研究光栅的成像,用刻槽分布函数表示光栅的刻槽曲率及间距变化。对成像的理论分析表明光栅刻槽分布函数比刻槽间距更容易表达像差,给出了消像差光栅的表达形式。比较了SD、WFA、LPF等光栅的参数优化方法。探讨了消像差光栅密度的干涉测量法,设计了光路,对光栅密度进行了测量。
- 朱向冰付绍军叶为全何世平刘颖徐向东洪义麟
- 关键词：费马原理成像像差
- 对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析被引量：4
- 2002年
- 变线距光栅能够自动聚焦和消像差,在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,本文用干涉法测量变线距光栅的密度,设计并给出了实验中的光路,发现了环形的干涉条纹和变化规律,分析了这些现象产生的原因,产生明显的环形条纹的必要条件首先是变线距光栅的线密度单调变化的,连续增加或连续减小,其次要光栅的刻线是弯的,第三虚栅的密度接近待测光栅的整数倍,由于元件位置偏差,检测用的平面波会变成球面波,也会产生环形的干涉条纹,但是这种效应可以忽略。预言了类似双曲线的干涉条纹。通过对条纹运动规律的分析,可以在初步测量中定性分析光栅密度的变化趋势,从而为进一步测量做准备。
- 朱向冰付绍军叶为全何世平陈瑾徐向东洪义麟
- 关键词：线密度
- 复杂分光仪器中的像差研究被引量：3
- 2006年
- 为提高分光仪器的性能,采用两个椭球面镜和一个椭球面消像差光栅分光。光源发出的光线被第一个椭球面镜反射,产生特定的波前,经过光栅衍射以后,不同波长的光波被第二个椭球面镜汇聚到探测器的不同位置上。系统具有复杂的像差特性和成像特性,根据费马原理,参考第二代全息变线距光栅的制作光路和理论,建立坐标系,定义两个椭球面上的入射角和反射角,确定各元件的位置变量,确立基本几何关系,将光程函数分为两部分:由衍射引起的光程变化和几何位置引起的光程变化,将两部分都按级数展开,给出了高阶像差的解析形式。对于平面、柱面、球面光栅和反射镜也可以使用这些公式。像差的解析式和光路也可以用于各种分光仪器中。
- 朱向冰陈瑾邓善熙付绍军
- 关键词：光学器件费马原理椭球面
- 变线距光栅线密度的干涉测量被引量：5
- 2003年
- 变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景 ,它的制作和检测方法尚未成熟。用干涉法测量变线距光栅的线密度 ,给出了测量原理、实验中的光路、数据处理的方法、测量结果。在待测光栅表面 ,衍射光干涉条纹的数量和密度是入射光干涉条纹和倍增后光栅的刻线之差。采用共光路的方案 ,使光路具有很强的抗干扰能力。用中值滤波消除干涉图像中的干扰。针对不同的干涉条纹 ,讨论和比较了两种测量方法 ,提出相对密度不变性。证明了干涉法完全可以用于变线距光栅的线密度测量 ,并能达到一定的精度 ,初步解决了检测问题 ,认为这种方法也可以用于变线密度光栅的加工中。
- 朱向冰付绍军叶为全何世平陈瑾刘颖徐向东洪义麟
- 关键词：物理光学线密度干涉图像数据处理
- 应用相移干涉云纹检测变线距光栅密度被引量：3
- 2004年
- 相移干涉云纹法被用于检测变线距全息光栅线密度的全场分布 .首先求出全场每个像素点的条纹级数 ,再利用最小二乘法将全场实验数据拟合成光滑的二维曲面 ,进而求出光栅密度的全场二维分布 .介绍了二维光栅密度的表述方法、相移干涉云纹法的检测原理及实验数据的处理步骤 ,推导出了相应的公式 .文中用不同的检测方法对同一个光栅的线密度进行了检测 。
- 王铷唐欣张天林王迪何世平
- 关键词：线密度
- 平面变线密度光栅的制作和波前检测被引量：2
- 2006年
- 为了制作平面变线密度光栅,满足线密度变化的要求,采用两个点光源和辅助透镜对基底曝光。编写了第一代和第二代光路的计算程序,计算出拍摄光路的几何位置参量,依据实际情况选择光路。提出了在线检测波前的方法,将辅助的标准光栅放在基底的位置上,入射光被标准光栅衍射,衍射光在光栅表面的干涉条纹反映了入射光的波前分布。采用数码相机和辅助镜拍摄干涉条纹,编写条纹分析程序,根据条纹调节元件的位置,直到入射波前满足要求后,对涂有光刻胶的基底曝光,制作出了原型的变线密度光栅。波前检测方法也可以用于其他全息光栅的制作中。
- 朱向冰陈瑾邓善熙付绍军
- 关键词：仪器全息波前
- 具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究被引量：3
- 2006年
- 采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.
- 赵福华谢永军许素莲刘刚付绍军
- 关键词：HFO2/SIO2溶胶-凝胶光栅
