国家重点实验室开放基金(PIL0513)
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
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- 基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜被引量：2
- 2010年
- 压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。
- 黄强先王广红万耿华倪康
- 关键词：锁相环路扫描探针显微镜
- 基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的新型SPM测头结构及性能研究被引量：4
- 2009年
- 为了对柔软易损坏材料以及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量,研制了一种采用PVDF薄膜和压电驱动器(PZT-actuator)结合钨探针构成的新型SPM测头。介绍了测头的构成和工作原理,并通过一系列相关实验,确定了测头的相关参数和性能(如薄膜的尺寸参数、所构成振动梁的品质因素及弹性常数等),初步证实了该测头可以满足上述测量要求。
- 侯茂盛黄强先杨朋桢
- 关键词：PVDF薄膜振动梁扫描探针显微镜
