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教育部基金(2005-546)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：邢金柱刘保亭仇满德彭英才霍骥川更多>>
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发文基金：河北省自然科学基金教育部基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇室温制备
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇蓝宝石衬底
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇衬底
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇河北大学

作者

  • 1篇周阳
  • 1篇付跃举
  • 1篇霍骥川
  • 1篇彭英才
  • 1篇仇满德
  • 1篇刘保亭
  • 1篇邢金柱

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜被引量：8
2009年
在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、可见-紫外分光光度计系统研究了ZnO薄膜微观结构和光学特性。AFM测量结果表明ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒,表面平整,具有较小的均方根粗糙度(0.9 nm);X射线衍射结果表明制备的ZnO薄膜为具有六角纤锌矿结构的外延薄膜;光学透射谱显示样品在可见光范围内具有较高的透过性,并在370 nm附近出现一个较陡的吸收边,表明在室温下制备出了具有较高质量的ZnO薄膜。
周阳仇满德付跃举邢金柱霍骥川彭英才刘保亭
关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射
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共1页<1>
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