国家自然科学基金(51235005)
- 作品数：7 被引量：28H指数：3
- 相关作者：姜伟刘明勇刘怀举朱才朝李巍更多>>
- 相关机构：华中科技大学湖北工业大学清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：机械工程电气工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 压电陶瓷作动器非对称迟滞的建模与补偿控制被引量：7
- 2013年
- 针对传统Bouc-Wen模型不能反映压电陶瓷作动器迟滞的非对称特性而导致其补偿控制精度难以提高的问题,提出了一种改进Bouc-Wen模型,通过修改形状控制参数使其能够模拟压电陶瓷作动器的非对称迟滞曲线。利用粒子群优化算法辨识了所需的模型参数,进一步研究了基于模型的前馈补偿控制、前馈加PI反馈补偿控制对于实现高精度位移输出的效果;在开环前馈补偿控制实验中,采用改进Bouc-Wen模型比传统Bouc-Wen模型的控制误差可降低约42%;在前馈加PI反馈补偿控制实验中,采用改进Bouc-Wen模型比传统Bouc-Wen模型的控制误差可降低约20%。研究结果表明:在相同的控制方式下,采用改进Bouc-Wen模型能够得到比传统Bouc-Wen模型更高的轨迹跟踪精度;与单纯采用基于模型的前馈补偿控制相比,采用基于模型的前馈加PI反馈补偿控制可显著提高压电陶瓷作动器的位移输出精度。
- 赵小兴姜伟李巍
- 关键词：参数辨识补偿控制
- 极紫外光学表面污染控制技术的研究进展被引量：4
- 2013年
- 极紫外(EUV)光刻机中光学元件的污染和采用的污染控制策略是影响光刻机性能的重要因素,其中污染主要包括光学表面碳沉积和光学表面氧化,污染控制技术包括智能气体混合技术、保护层技术和污染物清洁技术。着重论述了上述两种主要污染形式和三种污染控制技术的研究进展,对EUV光刻机中污染研究的前景进行了展望,并指出其发展面临的挑战及有待解决的关键技术。
- 雷敏李小平苗怀坤
- 关键词：光学制造极紫外光刻污染控制
- 基于机架刚度的大型压机预紧力研究被引量：3
- 2013年
- 螺栓预紧力对大型压机的使用稳定性具有决定性作用,针对某大型压机使用过程中出现机架松动现象,建立大型压机机架有限元模型,得到机架的垂直刚度与角刚度。根据预紧力压缩变形量应不少于偏心载荷的等效力与力矩产生的侧隙量,计算出等效载荷系数,结合有限元预紧力接触模型得到预紧力大小,进而确定预紧螺母旋进量,为指导设备设计及检修提供理论依据。
- 刘明勇
- 关键词：刚度预紧力有限元
- 偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析被引量：1
- 2014年
- 为了降低偏心驱动对气浮支承精密运动平台的精度和稳定性的影响,建立了偏心驱动下运动平台的理论分析模型。采用无量纲的偏心率表征驱动力位置和检测位置的偏心,分析了偏心率对系统稳定性和精度的影响规律。根据实际精度和稳定性指标要求,提出了偏心率设计准则,即在设计精度决定的控制带宽下,保证合理的稳定性裕度,偏航和俯仰方向偏心率的控制范围。所提方法已用于气浮支承精密运动平台的设计,试验结果表明运动平台的位置跟踪误差在设计要求内。
- 左昊诚姜伟张鸣王婧
- 关键词：偏心率设计准则
- 高速无刷直流电机无传感器控制被引量：2
- 2014年
- 介绍了一种高速无刷直流电机无传感器控制策略的特点,解决高速控制的难点。基于无刷直流电机无位置传感器反电动势过零检测法原理,及低通滤波理论设计了反电动势检测电路,提出了一种反电动势过零检测算法。围绕高速下逆变电路的保护,分析了MOSFET电路等效模型,对振荡电路的机理进行了深入研究,设计了逆变电路保护电路。最后利用STM32微控制器实现了高速无刷电机控制系统,通过实验验证了其有效性。
- 李小清骆传旺沈祖英余淼
- 关键词：反电动势过零检测
- 有限长线接触非牛顿热弹流润滑分析被引量：10
- 2014年
- 建立有限长圆柱滚子的非牛顿流体热弹流润滑模型,选取Ree-Eyring流体和Power-Law流体进行有限长线接触弹流润滑分析。研究表明:随着接触线长度增大,端部效应减弱;Ree-Eyring流体特征剪切力对润滑温升和剪切力影响较大,而对润滑压力与膜厚影响甚微;Power-Law流体随指数增大,润滑膜厚明显降低;随载荷、转速升高,热解与等温润滑结果差异增大,热效应对摩擦因数的影响尤其显著。
- 刘明勇朱才朝刘怀举
- 关键词：有限长线接触圆柱滚子热弹流润滑
- 基于灵敏度分析与优化的精密运动平台模型修正被引量：1
- 2013年
- 针对超精密运动平台部件中部分材料精确参数未知、粘结层准确模拟困难导致动力学建模精度相对较低的问题,提出一种基于参数灵敏度分析和优化的模型修正方法,获取面向精确动力学分析所需的高精度动力学模型。建立虚拟材料属性的粘结层单元代替原有的节点重合建模方法,利用参数灵敏度分析得到未知材料参数对结构模态影响的大小,以模态实验结果为目标选取灵敏度大的未知的材料参数进行优化,得到超精密运动平台部件的修正模型。实验结果证实,修正后动力学模型的模态频率及传递函数与实验结果之间的误差较修正前均明显降低,可用于后续超精密运动平台整体动力学特性的精确预测。
- 陈增贤成荣姜伟
- 关键词：模型修正
