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国防科技重点实验室基金(51440010103DZ2203)
作品数:
2
被引量:12
H指数:1
相关作者:
丁明清
冯进军
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北京真空电子技术研究所
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超纳米金刚石薄膜场发射特性的研究
被引量:11
2004年
超纳米金刚石(UNCD)是一种全新的纳米材料,具有许多独特性能。介绍了Si微尖和微尖阵列阴极沉积超纳米金刚石薄膜的工艺及其场发射特性。研究发现,适当的成核工艺和微波等离子体化学气相沉积工艺可在Si微尖上沉积一层光滑敷形的金刚石薄膜;沉积后阴极的电压 电流特性、发射电流的稳定性以及工作在氧气环境下的发射特性都获得明显提高。讨论了超纳米晶金刚石薄膜阴极的发射机理。
丁明清
GRUEN Dieter
关键词:
场发射
微波等离子体化学气相沉积
微波管环境下场发射阵列阴极的工作稳定性研究
被引量:1
2005年
场致发射阵列阴极在微波管中的应用无疑是微波真空电子器件的一场革命,但经过多年的研究和发展目前仍没有解决微波管环境下阵列阴极的工作稳定性和寿命问题.虽然国外也有一些利用这种冷阴极的行波管和预群聚速调四极管的实验,但都存在同样的寿命问题.本文对场致发射阵列阴极在微波管环境中的工作稳定性和失效机理进行了分析研究,主要原因是真空度、微波管的残余气氛、电子枪区域的高压打火和离子的回轰影响了阵列阴极的稳定性和寿命等,提出了场致发射阵列阴极在结构、发射体材料、处理工艺、整管排气封接过程等方面的改进方法,以使这种阴极能适应微波电真空器件的特殊环境.
冯进军
关键词:
场发射阵列
微波管
微波管环境下场发射阵列阴极的工作稳定性研究
场致发射阵列阴极在微波管中的应用无疑是微波真空电子器件的一场革命,但经过多年的研究和发展目前仍没有解决微波管环境下阵列阴极的工作稳定性和寿命问题。虽然国外也有一些利用这种冷阴极的行波管和预群聚速调四极管的实验,但都存在同...
冯进军
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场发射阵列
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