兵器工业科研基金项目(zz9682-3)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 相关机构：西安工业学院西安工业大学西安工程科技学院更多>>
- 发文基金：兵器工业科研基金项目陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：理学电气工程机械工程更多>>
- 光学镀膜仪静态特性研究被引量：1
- 2006年
- 光学镀膜仪的静态特性是高精度镀膜系统的重要因素。对典型镀膜仪的膜厚监视器的静态漂移数据,采用t检验、回归分析、方差分析、样本标准偏差和不确定度分析等方法获得其静态特性。发现不同预热时间有不同的系统静态特性;建立静态漂移的线性回归、二次回归数学模型,其线性漂移率为-5.5×10-5,二次漂移率为5.02322×10-8;显示值相对于期望曲线的最大偏差为±4×10-3。该静态特性详细、稳定和精确,为镀膜经验控制、膜系修正和自动化系统开发奠定了基础。
- 许世军任小玲
- 关键词：光学薄膜静态特性方差分析
- 光学镀膜仪的监控稳定性研究被引量：1
- 2006年
- 光学镀膜仪的膜厚监控稳定性影响着镀膜的合格率,并且对镀膜经验控制,膜系修正和自动化系统开发有重要的意义。对真空镀膜仪进行4种薄膜系列的膜厚监控实验,建立一套稳定性评价体系,获取镀膜仪的稳定性指标。将修正的方差分析方法、不确定度分析方法、标准偏差与相对偏差方法和线性回归方法等综合起来,用6项指标从各个方面对光学薄膜厚度监控的稳定性做出评判,甚至对膜厚控制精度和特征波长做出分析。实验结果表明:上述的综合评价体系是合理的;多层膜比单层膜的监控稳定性稍差一些,膜层材料对稳定性的影响比较大,膜厚控制精度的标准偏差≤0.45%;薄膜层数对膜厚控制精度没有明显的影响,甚至多层膜比少层膜的控制精度要高,出现了“中心层”效应;用线性回归方法可以估计实际镀膜的特征波长长移量。
- 许世军任小玲
- 关键词：光学薄膜方差分析
