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国家高技术研究发展计划(2004AA4044210)
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相关作者:
张扬
曲延滨
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力平衡式微加速度计系统特性研究
2008年
力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析,阐述了不同情况下提高加速度计性能所应采取的措施.
张扬
曲延滨
关键词:
微加速度计
偏置电压极性
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