上海市自然科学基金(07ZR14134)
- 作品数：5 被引量：15H指数：2
- 相关作者：李刚朱壮晖赵建龙周洪波孙晓娜更多>>
- 相关机构：中国科学院中国科学院研究生院上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术医药卫生化学工程更多>>
- 一种集成纳米金柱结构的神经薄膜微电极阵列(英文)被引量：2
- 2009年
- 在神经假体系统中,神经微电极是实现信号检测以及激励任务的重要组成部分.然而,神经微电极由于尺寸微小,往往具有很高的电极/组织界面阻抗.本文提出了一种在电极位点表面处集成纳米结构来增大电极有效表面积的方法.这种方法结合了光刻、局部氧化铝以及电子束蒸发等技术,在薄膜微电极的表面集成了纳米金柱结构.最后,本文测试和评价了此微电极的表面形貌以及电学性能.实验结果表明,这种集成有纳米金柱结构的微电极其界面阻抗降低了约25倍,促进了这种微电极在神经工程领域的广泛应用.
- 周洪波李刚朱壮晖周亮孙晓娜金庆辉赵建龙
- 关键词：多孔氧化铝电子束蒸发
- 丘形柔性神经微刺激电极阵列被引量：8
- 2009年
- 为了实现电极位点与靶细胞的良好接触,改善刺激效果,同时保证刺激电极的自身安全,提出了一种具有圆滑外形的丘形柔性神经刺激微电极阵列。以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,利用光刻和金属层图形化结合电镀工艺,制作了6×6丘形柔性神经刺激微电极阵列,每个电极位点底面直径为150μm,高度约为50μm。通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。实验结果表明:相对于传统的平面微电极阵列(具有相同底面积),三维丘形电极位点的阻抗(@1kHz)降低了约4倍,可实现更有效的刺激;而相对于塔形电极,丘形电极则具有更均匀的表面电流密度分布,保证了电极长期工作的安全性。
- 孙晓娜李刚朱壮晖周洪波赵建龙任秋实
- 关键词：微电极阵列电流密度
- 钨丝微电极阵列的简易制备方法
- 2009年
- 本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制。最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定。整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本。此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性。
- 姚源李刚张华周洪波孙晓娜朱壮晖隋晓红赵建龙
- 关键词：微细加工钨丝微电极阵列
