广西研究生教育创新计划(2010105950809M37)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：许积文杨玲王华张啸任明放更多>>
- 相关机构：桂林电子科技大学更多>>
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- 相关领域：理学更多>>
- 衬底温度对In_2S_3薄膜结构及其性能的影响被引量：2
- 2011年
- 采用超声喷雾热解法,在玻璃基底上一步合成了In2S3薄膜。研究了衬底温度对In2S3薄膜的结构、表面形貌、电学和光学性能影响。结果表明:所制备的In2S3薄膜均具有沿(220)面择优取向生长特性且无其他杂相,衬底温度对薄膜的均匀性、致密度、结晶程度均有明显影响,并因此影响薄膜的光电性能。薄膜的导电性随着衬底温度的升高迅速增强,但是在衬底温度为350℃时有所降低。衬底温度为300℃所制备的薄膜在可见光区透光率最高达到90%以上,禁带宽度达到2.43 eV。
- 张啸王华许积文杨玲任明放
- 关键词：衬底温度禁带宽度
- 工艺条件对CuAlO2透明导电薄膜光电性能的影响
- 2019年
- 采用溶胶-凝胶工艺制备CuAlO2透明导电薄膜,研究退火气氛、温度及溶胶浓度对薄膜结构和光电性能的影响。研究表明:薄膜在真空退火下存在金属Cu,导电性能良好;氩气下退火为3R晶型的CuAlO2,导电性能较好;空气下退火CuAlO2相分解为CuAl2O4和CuO,几乎不导电。700℃或更低温度退火不能使CuAlO2薄膜充分晶化,但超过800℃时,薄膜中会出现较多孔洞与裂纹。750℃下退火薄膜的导电性最佳,800℃退火薄膜具有最高的透光率和最大带隙值。溶胶浓度为0.35 mol/L时,薄膜电导性最好,超过0.35 mol/L后,薄膜的透光率随溶胶浓度的增大而显著降低。
- 刘思佳王华许积文杨玲
- 关键词：透明导电薄膜溶胶-凝胶
