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广东省重大科技专项(A1100501)
作品数:
2
被引量:9
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相关作者:
姚若河
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磁约束反应离子蚀刻装置的磁场优化
2006年
应用有限元分析方法建立了多磁极约束磁增强型反应离子蚀刻装置内部的磁场分布模型.通过研究磁极的配置及磁化方向的调整,对蚀刻装置内部磁场的强度及其分布的均匀性进行了优化研究,获得了在兼顾蚀刻速率和蚀刻均匀性的最优工艺要求.
敬小成
姚若河
林玉树
关键词:
反应离子蚀刻
磁约束
等离子体装置
磁控溅射法制备CuIn(SxSe1-x)薄膜的研究
铜铟硒(CIS)太阳能电池是从20世纪80年代初发展起来的多晶薄膜电池。它具有造价低廉、光电转换效率高、近于单晶硅太阳电池的稳定性和较强的空间抗辐射性能而得到国际光伏界的重视,成为最有前途的新一代太阳电池之一。
姚若河
宁阳
张红
铜铟硒多晶薄膜太阳电池的制备技术
被引量:9
2003年
简述了铜铟硒多晶薄膜太阳电池的研究现状,讨论了其制备技术及其特点,给出了进一步研究和要解决的现存问题。
姚若河
邹心遥
张红
关键词:
太阳电池
异质结
蒸发法
溅射
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