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广东省重大科技专项(A1100501)

作品数：2 被引量：9H指数：1
相关作者：姚若河邹心遥张红林玉树敬小成更多>>
相关机构：华南理工大学更多>>
发文基金：广东省重大科技专项更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇溅射
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体装置
  • 1篇电池
  • 1篇异质结
  • 1篇蒸发法
  • 1篇蚀刻
  • 1篇太阳电池
  • 1篇离子蚀刻
  • 1篇夹层结构
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子蚀刻
  • 1篇磁控
  • 1篇磁约束
  • 1篇X

机构

  • 3篇华南理工大学

作者

  • 3篇姚若河
  • 2篇张红
  • 1篇敬小成
  • 1篇林玉树
  • 1篇邹心遥
  • 1篇宁阳

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇可再生能源

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
磁约束反应离子蚀刻装置的磁场优化
2006年
应用有限元分析方法建立了多磁极约束磁增强型反应离子蚀刻装置内部的磁场分布模型.通过研究磁极的配置及磁化方向的调整,对蚀刻装置内部磁场的强度及其分布的均匀性进行了优化研究,获得了在兼顾蚀刻速率和蚀刻均匀性的最优工艺要求.
敬小成姚若河林玉树
关键词：反应离子蚀刻磁约束等离子体装置
磁控溅射法制备CuIn(SxSe1-x)薄膜的研究
铜铟硒(CIS)太阳能电池是从20世纪80年代初发展起来的多晶薄膜电池。它具有造价低廉、光电转换效率高、近于单晶硅太阳电池的稳定性和较强的空间抗辐射性能而得到国际光伏界的重视,成为最有前途的新一代太阳电池之一。
姚若河宁阳张红
铜铟硒多晶薄膜太阳电池的制备技术被引量：9
2003年
简述了铜铟硒多晶薄膜太阳电池的研究现状,讨论了其制备技术及其特点,给出了进一步研究和要解决的现存问题。
姚若河邹心遥张红
关键词：太阳电池异质结蒸发法溅射夹层结构
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