天津市科技发展战略研究计划项目(G043103911)
- 作品数：4 被引量：28H指数：3
- 相关作者：王清月梁建国倪晓昌巫殷忠胡明列更多>>
- 相关机构：天津大学中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：天津市科技发展战略研究计划项目教育部科学技术研究重大项目中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 飞秒激光在光敏玻璃内制作微孔被引量：4
- 2008年
- 用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃(FOTURAN)内部,通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面,并结合热处理和在浓度8%的氢氟酸超声溶液中腐蚀50min,在FOTURAN内部制作了直径为几十μm的微孔.利用光学和扫描电子显微镜分析发现微孔具有圆形横截面和清晰边缘,目前得到的深宽比大约为7.通过在宽范围内改变入射激光能流(2.3～36.2J/cm2)和写制速度(100～1000μm/s),研究了这两项飞秒激光入射参量对制作微孔的影响.发现写制速度对制作微孔直径影响较小,而利用相对低的入射激光能流曝光可得到较大深宽比的微孔,并且在此情形下制作微孔的横截面更圆,璧面光滑度更高,并分析了原因.
- 巫殷忠王清月贾威胡明列柴路
- 关键词：飞秒激光微孔光敏玻璃
- 飞秒脉冲参量影响金属表面热特性的研究*被引量：12
- 2006年
- 采用有限差分法对约化后的双温方程进行数值模拟·研究了飞秒激光与金属铜相互作用时,脉冲形状对烧蚀结果的影响.结果表明:脉冲能量确定时,脉冲形状对烧蚀结果影响不大;多脉冲作用时,脉冲重复频率只有在一定范围内(随材料属性改变),脉冲间的热累积效应才存在;对传导性好的金属材料,热累积效应不明显·并实验证实了上述结果·
- 倪晓昌王清月梁建国
- 关键词：飞秒激光有限差分
- 超短激光脉冲烧蚀铜材料的数值模拟被引量：15
- 2005年
- 使用约化后的双温方程(DTE)对超短激光脉冲烧蚀铜薄层的过程进行了数值模拟;基于超短激光脉冲烧蚀过程中电子与晶格的温度不平衡性,分别模拟了这两个系统的温升过程,并由此得到了单脉冲烧蚀深度;通过变化激光能流,研究了脉冲能量对烧蚀深度的影响。模拟结果表明,随着激光能流的增加,相变爆炸引起的喷射出现得越深,同时材料烧蚀深度越大;理论计算与实验结果相吻合。
- 梁建国倪晓昌杨丽王清月
- 关键词：激光技术有限差分
- 飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面
- 2009年
- 利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边缘,直径约为几十微米.通过分别改变入射激光的单脉冲能量(970～3250nJ)和脉冲数目(10～3000个),研究了它们对微凹面制作结果的影响,发现了微凹面的直径随激光入射参量的饱和效应,并解释了其原因;指出了飞秒激光在FOTURAN上制作微结构的应用.
- 巫殷忠王清月贾威胡明列柴路
- 关键词：飞秒激光微细加工光敏玻璃
