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国家自然科学基金(10373018)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：成贤锴郭伟远白华更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院国家天文台中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光工艺
  • 1篇离子束
  • 1篇矩阵
  • 1篇矩阵运算

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇中国科学院国...

作者

  • 1篇白华
  • 1篇郭伟远
  • 1篇成贤锴

传媒

  • 1篇天文研究与技...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法被引量：2
2011年
在离子束抛光工艺中,驻留时间的求解是很关键的。求解驻留时间是利用离子束加工函数和驻留时间的卷积等于镜面去除量的关系,而离子束抛光的过程就是一个执行解卷积的过程。受此启发,采用一种分步消去算法解矩阵的卷积运算。这种新算法占用计算机资源少,运算速度快,同时可以根据预先设定的加工精度算得满足要求的驻留时间函数。对这种新算法进行仿真分析,采用3种不同的消去顺序分步加工,得到了理想的仿真结果,PV值由抛光前的363.721 nm分别减小到6.136 nm、33.347 nm、3.875 nm,抛光后的镜面精度提高了很多。
郭伟远成贤锴白华
关键词：矩阵运算
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