国家重点基础研究发展计划(G1999033106)
- 作品数：37 被引量：438H指数：12
- 相关作者：周兆英叶雄英李志信王沫然王晓浩更多>>
- 相关机构：清华大学中国科学院力学研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术动力工程及工程热物理理学更多>>
- 微芯片电泳仪的研制被引量：6
- 2002年
- 讨论了微芯片电泳仪的原理 ,以及生化物质高压分离、光学检测部件的设计问题 ,实验结果表明 ,仪器准确度高 ,重复性好 ,可快速有效地检测到生化物质分离情况。
- 章刚华周兆英汤扬华罗国安金亚
- 关键词：激光诱导荧光
- 微喷管内气体流动的三维数值模拟被引量：5
- 2004年
- 微尺度流体的流动仿真分析是微喷管优化设计的基础。采用Navier-Stokes理论对采用微机电系统技术制作的微喷管中的气体流动进行了三维数值分析,建立了微喷管流动的三维数学模型,给出了该模型的求解算法。对不同燃烧室压强和温度下的微喷管内气体流动的计算结果进行了分析,并与二维计算结果进行了比较。结果表明:微喷管内的流动状态没有因压强和温度的变化而发生根本性的改变;在微尺度下,由于附面层效应,采用二维数值计算将高估微喷管的性能。
- 唐飞叶雄英周兆英
- 关键词：微喷管三维数值分析附面层
- 微尺度热科学及其在MEMS中的应用被引量：11
- 2002年
- 主要介绍了微尺度热科学最新研究成果及其在MEMS中的应用。微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战。微尺度热科学是微尺度物理学的一个重要分支 ,包括微尺度传热学、微尺度动力学和微尺度热测量学等。一般来说 ,微尺度热现象的尺度效应可以归结为热流密度大和热惯性小这两个特点 ,在MEMS器件中有广泛的应用。尽管近年来微尺度热科学取得了快速的发展 ,但仍处于不断发展的阶段 ;完整的理论体系还没有建立 ;微尺度下成熟的实验方法还在摸索中 ,实验数据处在原始积累阶段 ;大规模计算条件的实现和分子水平的数值模拟方法为问题的解决提供了另一条途径。
- 王沫然李志信
- 关键词：MEMS微电子机械系统
- 电泳芯片的制作及其进样与分离被引量：15
- 2001年
- 利用微细加工技术研究在玻璃上制作电泳芯片的方法 ,测试了微管道的伏安特性曲线。在该电泳芯片上进行了注样和分离实验 ,采用激光诱导荧光法进行检测 ,利用CCD拍摄了进样和分离的全过程。分析了在电泳芯片上施加不同的电压对样品注样的影响 ,给出了FITC OH和FITC
- 汤扬华叶雄英周兆英金亚冯焱颍
- 关键词：湿法刻蚀电泳芯片激光诱导荧光微细加工技术电化学检测进样
- 流体在烧结多孔槽道中对流换热的实验研究被引量：9
- 2003年
- 本文对空气和水流过烧结青铜颗粒水平多孔槽道表面上的对流换热进行了实验研究。结果表明:与空槽道表面换热相比,实验段充满烧结多孔介质后,水流过实验段的平均对流换热系数可提高7～9倍,空气可提高3～30倍;烧结多孔结构的强化换热能力大于非烧结的堆积床;直径的增大能提高水在多孔结构内的换热能力,但对空气而言在实验流量范围内无明显作用。
- 李勐姜培学余磊任泽霈
- 关键词：多孔介质对流换热
- 硅微电阻电热式推进器的加热电阻的设计制作和试验研究被引量：4
- 2006年
- 在电阻电热式微推进器中,用体硅设计制作了立柱状结构的加热电阻。典型的加热电阻柱横断面积为240μm ×60μm,高度为150μm,沟槽的宽度为50 μm。采用ICP(诱导耦合等离子)工艺制作。利用杂质半导体材料的电阻率随温度的变化特性,在施加恒流源的情况下,可以使加热电阻的工作温度具有自动调节功能,保持在本征温度附近,避免烧毁电阻。理论分析和试验结果证实了这种加热电阻的可行性及其温度自动调节功能。试验测量的 74Ω的加热电阻的本征温度为550 K,与理论预测值相符。
- 唐飞王晓浩叶雄英周兆英
- 关键词：MEMS微推进器加热电阻
- MEMS冷气推进器的制作及实验研究被引量：3
- 2003年
- 介绍了一种两层结构的MEMS冷气微推进器的设计和制作。并从不同的膨胀比和喉部尺寸的角度 ,对微推进器的推力和比冲性能进行了实验测量。实验结果表明 ,所制作的微推进器可以达到的最大推力在 3.3～ 4 .9mN之间 ,比冲在 5 1.0～ 6 6 .
- 唐飞叶雄英周兆英
- 关键词：MEMS膨胀比比冲性能卫星
- 压电驱动微型喷雾器的研究被引量：23
- 2001年
- 研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器的工作性能。实验结果表明 ,这种喷雾器喷出的雾滴直径大小集中 ,工作稳定且容易控制喷雾量。
- 刘长庚周兆英王晓浩叶雄英
- 关键词：压电驱动微加工技术喷雾器
- 微流体实验技术研究被引量：3
- 2002年
- 微流体实验技术的研究是微流体器件发展的迫切需要 ,它不仅可以提供测量微流体器件性能必备的工具 ,而且对于探索微观尺度流体的传输机制具有极为重要的意义。文章对微流体实验技术的难点进行了概括 ,并对几种主要的微流体实验技术进行了讨论 ,指出流动显示技术由于对流动本身的干扰非常小 ,而且在一些研究人员的努力下精度得到不断提高 。
- 冯焱颖周兆英叶雄英熊继军
- 关键词：微电子机械系统微流体
- 基于MEMS的微泵研究进展被引量：35
- 2002年
- 主要介绍了基于MEMS的微泵 10年来的研究成果和研究现状。微泵是微电子机械系统(MEMS)中重要的执行器件 ,在系统中占有很重要的地位。微泵可以分为有阀泵和无阀泵两大类 ,一般来说 ,有阀泵的制造工艺和应用技术比较成熟 ,但存在加工尺寸限制和使用寿命的问题 ;无阀泵的原理新颖 ,结构相对简单 ,更适合微型化发展 ,是目前研究的热点。
- 王沫然李志信
- 关键词：MEMS微泵微电子机械系统无阀泵
