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国家自然科学基金(60906053F040703)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
潘元志
詹昌华
赵小林
侯中宇
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相关机构:
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潘元志
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年份
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2013
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一种新型的电离式MEMS气体传感器
被引量:1
2013年
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。
詹昌华
潘元志
赵小林
侯中宇
关键词:
微机电系统
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