国家自然科学基金(60506002)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- MOCVD生长温度对氧化锌薄膜结构及发光性能的影响(英文)被引量：1
- 2010年
- 利用甲醇做氧源,采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺在硅(111)衬底上生长了一系列的氧化锌薄膜,生长温度为400～600℃。薄膜的表面形貌及晶体质量分别利用场发射扫描电镜及X射线衍射仪进行了测量。研究表明:随着生长温度的降低,在X射线衍射图谱中氧化锌(101)峰取代了(002)峰成为了主峰。这可能是由于温度过低使得甲醇未完全分解,而甲醇分子抑制了氧化锌沿c轴极性过快的生长所致。室温光致发光光谱结果表明在较高生长温度下获得的样品具有良好的光学性质,发光强度随着温度的降低而降低。
- 王振华杨安丽刘祥林魏鸿源焦春美朱勤生杨少延王占国
- 关键词：ZNO甲醇MOCVD生长温度
- 用纳米棒ZnO作模板生长无支撑的AlN纳米晶(英文)
- 2007年
- 用金属有机物气相外延在纳米棒ZnO模板上沉积AlN薄膜.SEM测试表明该薄膜形成了一种倾倒纳米棒的表面.而GIXRD测试进一步证实它是纤锌矿结构的AlN,晶粒尺度约为12nm,接近于ZnO纳米棒的直径(30nm).这意味着纳米棒结构的ZnO能限制AlN的横向生长.此外,高温下用H2刻蚀ZnO直接在生长中实现了外延层的剥离.最终得到了无支撑的AlN纳米晶,完整无破损的区域约为1cm×1cm.定义这个生长机制为"生长-刻蚀-合并"过程.
- 胡卫国魏鸿源焦春美康亭亭张日清刘祥林
- 关键词：金属有机物气相外延纳米材料氮化物
- 不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响被引量：1
- 2007年
- 在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了,面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.发现甲醇作为氧源生长的薄膜晶体质量跟氧气作为氧源的相比有较大提高,这可能源于预反应的减弱和甲醇的表面活化作用.在r面蓝宝石上用甲醇作为氧源生长出了表面平整的ZnO薄膜,其(1012)面的非对称衍射的摇摆曲线半高宽仅0.10.
- 张攀峰魏鸿源范海波丛光伟杨少延朱勤生刘祥林
- 关键词：ZNO蓝宝石XRDSEM
