北京市自然科学基金(4032005) 作品数:8 被引量:7 H指数:2 相关作者: 陈建新 杨维明 史辰 李振国 高铭洁 更多>> 相关机构: 北京工业大学 更多>> 发文基金: 北京市自然科学基金 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
用离子注入和掩埋金属自对准技术改善Si/SiGe HBT性能 2005年 在器件纵向结构确定后,常规工艺制作的SiGe/SiHBT噪声性能不理想的主要原因是其基极电阻较大,高频性能不理想主要是由于其基极和发射极台面面积较大造成的;为达到改善其高频与低噪声性能的目的,在不改变光刻工艺精度的情况下,采用离子注入和掩埋金属自对准工艺方法完成了器件制作;与传统制作方法相比,前者可减小外基区电阻,后者可以减小电极接触电阻,并能使器件的台面面积做得更小。在此基础上,我们测试了器件的最小噪声系数与最高截止频率,结果表明:用自对准工艺制作的器件的高频噪声与频率性能都显著改善。 杨维明 史辰 徐晨 陈建新关键词:离子注入 HBT 噪声系数 用离子注入工艺改善Si/SiGe HBT高频噪声性能 2005年 常规工艺制作的SiGe/Si HBT高频噪声性能不理想的主要原因是其基极电阻较大,为减小基极电阻从而达到改善其高频噪声的目的,本文采用离子注入自对准工艺方法进行器件制作,并测试出器件的直流与最小噪声系数有显著改善。 杨维明 史辰 徐晨 陈建新关键词:离子注入 异质结双极晶体管 基极电阻 锗硅低噪声放大器的研究进展 被引量:1 2005年 介绍了采用锗硅技术的低噪声放大器的基本理论,给出了一个2GHz低噪声放大器的例子,并总结了近来采用锗硅技术的各种频段的低噪声放大器研究情况。最后,介绍了锗硅技术的广阔应用前景。<正>The theory of LNAs using SiGe bipolar technology is presented. And a 2GHz LNA based SiGe technology is presented in this article and state-of-the-art in SiGe based devices in different areas are described. Finally, the application of SiGe-based device was summarized. 李振国 陈建新 高铭洁SiGe HBT双端口网络参数模型和模拟 2006年 针对等效电路模型中应用频率范围窄、精度低以及在高频器件分析过程中与网络分析法的兼容性差等问题,由交流I-V方程出发,推导得到使用散射参数描述的锗硅异质结双极晶体管(SiGe HBT)的双端口网络参数模型.着重分析了Si/SiGe异质结和基区结构对器件交流性能的作用,并尽量避免省略物理量和对频率上限的限制.与等效电路模型相比,模型的频域精度由半定量提高至优于5%,并将适用频率由特定范围扩展至只计入本征参数时的特征频率fT,涵盖全部SiGe HBT的小信号工作频段,为器件的设计、优化和应用提供了一种宽频带和高精度的定量模拟方法. 史辰 杨维明 刘素娟 陈建新关键词:锗硅 异质结 Si/SiGe异质结晶体管的参数提取与特性模拟 2004年 用实验测量和理论计算相结合的方法提取了Si/SiGe 异质结晶体管的直流和高频参数,分别在PSPICE和MATLAB软件平台上模拟并分析了器件的直流和高频特性,模拟结果与实际测量的结果相吻合,表明本文的提取方法可行、参数提取结果有效。 杨维明 陈建新 邹德恕 史辰 李振国 高铭洁关键词:异质结晶体管 PSPICE MATLAB 基于SOS/SOI绝缘衬底的Si/SiGe HBT设计 2004年 着重讨论了衬底阻抗对HBT器件频率性能的劣化机制。基于双口网络理论,定量分析了fT和fm与衬底电阻率的关系;采用SOS/SOI绝缘衬底和自行设计的岛型隔离方法,抑制了绝大多数容性寄生参数;同时,围绕绝缘衬底进行Si/SiGeHBT的横向/纵向结构设计,开发出发射极自对准工艺方法,用于降低接触电阻和一定特征尺寸下的结面积,提高了HBT的频率性能。 史辰 陈建新 杨维明关键词:异质结双极晶体管 HBT 采用新结构与新工艺降低SiGe HBT基区串联电阻 被引量:2 2005年 采用新型调制掺杂量子阱基区结构和掩埋金属自对准工艺方法,在器件的纵向结构和制备手段上同时进行改进,使超薄基区小尺寸SiGeHBT的基区横向电阻和接触电阻分别降低42%和55%以上,有效解决了基区串联电阻的问题。 史辰 杨维明 刘素娟 徐晨 陈建新关键词:锗硅异质结双极晶体管 基于小信号等效电路模型的SiGe HBT高频特性模拟分析 被引量:5 2005年 给出了fT为15 GHz的SiGe HBT器件的高频小信号等效电路模型;运用微波网络理 论,在Matlab软件平台上模拟出器件的S参数和H21参数曲线,模拟结果与实测结果相吻合;根据 电路的拓扑结构,分析了管壳封装带来的寄生参数对器件高频性能的影响;根据稳定性判据,计算 了器件的稳定性与工作频率之间的关系。为器件的设计和应用提供了理论依据。 杨维明 陈建新 史辰 李振国 高铭洁关键词:锗硅合金 异质结双极晶体管 电路模型