宁波市自然科学基金(2011A610202)
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
- 相关作者：颜钟惠李想刘阳辉竺立强佘鹏更多>>
- 相关机构：湖南大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程理学机械工程更多>>
- 原子层沉积Al_2O_3薄膜钝化n型单晶硅表面的研究被引量：3
- 2013年
- 以三甲基铝(TMA)和水为反应源,采用原子层沉积(ALD)技术在n型单晶硅表面沉积15nm、30nm和100nm的Al2O3薄膜,并对样品进行快速退火(RTA)处理。采用少子寿命测试仪测试样品的有效少子寿命,获得了表面复合速率(SRV),通过X射线光电子能谱(XPS)分析了薄膜的化学成分,在此基础上研究了薄膜厚度及退火条件对钝化效果的影响,并分析了钝化机理。结果表明:ALD技术制备的Al2O3薄膜经退火后可使n型单晶硅SRV值降低到7cm/s,表面钝化效果显著。
- 李想颜钟惠刘阳辉竺立强
- 关键词：太阳能电池原子层沉积AL2O3薄膜
- 基于微孔SiO_2栅介质的透明氧化物薄膜晶体管
- 2013年
- 采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管。利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征。结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应,这种微孔SiO2栅介质透明氧化物薄膜晶体管器件具有工作电压低,开关电流比大,透光性高,稳定性强等良好性能。
- 颜钟惠王瑶吴国栋轩瑞杰李想
- 关键词：薄膜晶体管
- 多晶硅太阳电池表面激光织构工艺研究被引量：2
- 2012年
- 采用激光刻蚀,辅以化学溶液腐蚀对多晶硅片进行了表面织构。利用扫描电镜(SEM)、Helios LAB-rc反射率测试仪和Semilab WT2000少子寿命仪对样品进行了表征。结果表明,多晶硅表面经激光织构后表现出很好的陷光效果,反射率降低为8.0%。激光织构使硅片的少子寿命缩短,通过沉积Al2O3钝化薄膜可改善多晶硅片的电学性能。
- 佘鹏曾梦麟
- 关键词：多晶硅太阳电池
