国家科技重大专项(2009ZX02201-003)
- 作品数：2 被引量：8H指数：1
- 相关作者：李艳秋刘克张芸刘岩刘丽辉更多>>
- 相关机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部长江学者奖励计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术更多>>
- 一种新的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法被引量：8
- 2010年
- 相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹,因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉仪主要系统误差源的基础上,提出了一种新的系统误差标定方法,即旋转光栅法。该方法根据光栅在正交方向上的两次测量结果,利用泽尼克多项式在单位圆域的正交特性和奇偶对称性质即可标定干涉仪的系统误差。可见光波段的标定实验结果表明,系统的几何彗差为-0.116λ,与理论计算结果-0.133λ基本一致,证明了该方法的有效性。
- 刘克李艳秋
- 关键词：光学测量光刻移相干涉术点衍射干涉仪
- 90nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析
- 2015年
- 本文基于数值孔径为0.75,满足90 nm技术节点的DUV光刻物镜系统,采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系,分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响并与补偿前系统进行对比。结果表明:加边缘补偿力后,透镜非球面变形均方根最大值由50.877 nm减小至26.675 nm,但补偿后系统波像差均方根最大值由0.041λ增大到0.055λ。由此可以得出结论:该补偿方式能够有效补偿透镜表面非球面变形,但补偿后系统波像差反而增大,所以要降低系统的波像差,不仅需要减小透镜变形,同时还需考虑各透镜变形之间的相互补偿作用。
- 张芸刘丽辉李艳秋刘岩
- 关键词：深紫外投影物镜波像差有限元法
