国家自然科学基金(51072039)
- 作品数：2 被引量：8H指数：1
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- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展被引量：8
- 2010年
- 固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望。
- 刘罡朱嘉琦王赛陆晓欣刘远鹏霍施宇袁欣薇
- 关键词：压电薄膜
- 溅射功率对碳化锗薄膜化学键的影响研究
- 为了深入理解锗功率对磁控共溅射制备的无氢非晶碳化锗薄膜的化学键性质的影响。利用拉曼光谱(Raman)、傅里叶变换红外透射光谱(FTIR)和X射线光电子谱(XPS)对碳化锗薄膜的结构及化学键进行了分析。FTIR结果显示在6...
- 朱嘉琦姜春竹贾振宇
- 关键词：化学键XPSRAMANFTIR
- 文献传递
- 固贴式薄膜体声波谐振器性能受压电材料的影响分析
- 2019年
- 利用MathCAD软件对固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)器件建立数学模型进行仿真,分析了不同压电薄膜材料和厚度,不同电极材料和厚度对FBAR器件谐振特性的影响。采用射频磁控溅射方法制备氮化铝(AlN)薄膜,利用扫描探针显微镜中的压电力显微镜(PFM)模块对AlN薄膜的压电性能进行了测试。得到主要结论为:复合FBAR的谐振频率因为增加了电极厚度因素相比理想FBAR的谐振频率偏低;压电材料的机电耦合系数对器件带宽起决定性作用,器件的机电耦合系数正比于材料的机电耦合系数;AlN具有较高的压电系数,可以有效提升器件性能,增大带宽,适合作为压电薄膜材料;采用小尺寸压电薄膜和电极厚度有益于提高器件的频率。
- 鄂羽佳陆晓欣王建东朱嘉琦
- 关键词：压电薄膜磁控溅射压电系数
