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国家重点基础研究发展计划(2006CB0L1000)
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施毅
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基于锗硅异质纳米晶的非易失浮栅存储器的存储特性
2008年
利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这是由于渐变锗硅异质纳米晶中Ge的价带高于Si的价带形成了复合势垒,空穴有效地存储在复合势垒的Ge的一侧.
闾锦
陈裕斌
左正
施毅
濮林
郑有炓
关键词:
电容-电压特性
自组织生长
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