国家重点实验室开放基金(9140C79030302090C79)
- 作品数：4 被引量：15H指数：3
- 相关作者：汪红丁桂甫陈晖李光杨姚锦元更多>>
- 相关机构：上海交通大学江南大学更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金上海市科委科研计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程更多>>
- 单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成被引量：7
- 2010年
- 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。
- 汪红汤俊刘瑞陈晖丁桂甫
- 关键词：微机电系统有限元模拟UV-LIGA杨氏模量镍
- 对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响被引量：1
- 2010年
- 利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,渗透流影响镀层基本形貌,回流会引起镀层形貌的微小起伏。
- 陈晖李光杨汪红王艳丁桂甫赵小林
- 关键词：微电铸
- 水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响被引量：4
- 2011年
- 利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响。模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流—扩散虽然有利于物质传输,但均匀搅拌更有利于镀层均匀性;垂直流动相对于水平流动因离子到达阴极表面各处的传质阻力相同,故能有效改善镀层形貌的均匀性。
- 陈晖汪红李光杨姚锦元王艳丁桂甫
- 关键词：微电铸
- 提高微结构表面在镀液中的润湿性被引量：3
- 2010年
- 为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。
- 李光杨汪红谭姣姣杨卓青姚锦元丁桂甫
- 关键词：光刻胶表面改性接触角润湿性微结构
