国家科技重大专项(2011ZX02403-004)
- 作品数：22 被引量：29H指数：3
- 相关作者：杨铁牛周玉林关振群程嘉季林红更多>>
- 相关机构：五邑大学清华大学大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程理学电子电信更多>>
- 摩擦纳米发电机:机械驱动的高压静电场
- 2020年
- 自2012年摩擦纳米发电机发明以来,科学家们通过卓有成效的工作验证了这种新的发电模式在能量收集、微纳能源、自驱动传感、海洋能发电、高压电源、信息安全、环境监测、智能家居、可穿戴设备、物联网以及生物医学等方面大有可为,这是否预示着由摩擦起电和静电感应引发的能源革命正悄然而至?
- 程嘉
- 关键词：摩擦起电能源革命高压静电场机械驱动静电感应
- 静电卡盘与晶圆之间稀薄气体传热的影响因素被引量：3
- 2015年
- 通过在晶圆背面填充稀薄气体的方式来对晶圆进行冷却或加热是等离子体刻蚀工艺中的一项关键技术。该文对晶圆与静电卡盘之间的稀薄气体传热问题进行了解析建模,给出了一个适用于整个气压范围的气体导热解析表达式,并用直接模拟Monte Carlo方法验证了其准确性。基于该解析模型,还对气体压强、狭缝距离、热适应系数和气体温度等影响传热系数的参数进行了研究,发现狭缝距离和气体温度对传热系数影响较弱,即静电卡盘表面形貌(如凸台高度等)和刻蚀温度对于静电卡盘与晶圆之间的传热效果影响不大;而气体压强和热适应系数都表现出对传热系数有明显的影响。因此,在实际的刻蚀工艺中,可以通过调节气体压强来改变静电卡盘与晶圆之间的传热效果。
- 孙钰淳程嘉路益嘉侯悦民季林红
- 关键词：传热稀薄气体
- 动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量被引量：3
- 2016年
- 集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设置实验,采用压力管法测量低压腔室内任一点的压强值和薄膜规直接测量腔壁、出气口的压强值来实现腔室内压强分布的研究和压差的测量。讨论了腔壁与出气口之间的压差对压力管法的测量误差的影响;选择了二级匀气装置对进入腔室内的气体进行布气,通过比较腔室内同一水平面上各点与出气口之间的压差是否恒定来分析二级匀气盘的匀气效果。试验研究发现:在距离腔室中心150 mm的范围内,二级匀气装置的布气效果明显;本文采用的压力管法测量腔室内压强的误差与腔室进气量和腔室内流速存在内在联系。研究结果对IC装备设计及工艺控制有一定的指导意义。
- 周玉林杨铁牛
- 关键词：压差
- 低压流场速度测量的不确定度分析被引量：2
- 2019年
- 激光多普勒测速技术被广泛应用于流速测量领域。在搭建好的真空气流检测实验平台基础上,运用二维激光多普勒测速仪对真空腔室进行流速测量;为了减小测速系统的测量误差,对真空腔室流速测量不确定度的来源及评定进行了分析与说明,得到了真空腔室流速测量的合成相对标准不确定度和相对扩展不确定度。研究表明:LDV重复性测速和进气量估读引起的不确定度较大,而LDV系统误差和其它因素引起的不确定度较小。研究结果对后期真空腔室流速测量有一定指导意义。
- 杨铁牛邹胜吴宗跃赵蕾蕾卢冬冬阳亚
- 关键词：计量学流速测量不确定度
- 低压腔室内流速分布规律研究
- 2019年
- 工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型。结果表明:当进气量、温度越大,流速越大。当压强、间距越大,流速越小。四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)>进气量(Q)>温度(T)>间距(G)。
- 吴宗跃杨铁牛黄尊地赵蕾蕾杜华娜
- 关键词：激光多普勒测速仪流速
- 基于激光三角法的内径测量不确定度分析被引量：1
- 2021年
- 为探究激光三角法测量内径时的准确性,以30 mm的内孔零件为试验样本,通过控制测量装置移动,建立其与传感器示值的映射关系模型.分析激光三角法测量内径时影响精度的因素来源,并对其进行不确定度评定.结果表明:在物面倾角小于10o时,基于激光三角法进行内表面测量的不确定度为0.009 mm,其扩展不确定度为0.018 mm.实际测量验证了激光三角法测量内径的可行性,拓宽了激光三角法在曲面测量的应用.
- 杜华娜杨铁牛胡金洲林浩良
- 关键词：激光位移传感器激光三角法
- 基于Delaunay三角形网格的2维DSMC算法实现及应用被引量：2
- 2015年
- 传统的直接模拟Monte Carlo(DSMC)程序以直角网格为基础,在计算复杂的流动边界时不可避免地会带来一定误差。非结构网格虽然能够贴体地适应任何复杂流动边界,但因其拓扑结构的无序性、算法复杂、效率低等缺点而较少使用。该文提出一种基于Delaunay三角形网格的粒子轨迹追踪算法。该算法用背景网格将计算域分成若干矩形区域,通过首先确定矩形区域再搜索三角形网格的方法实现粒子轨迹的追踪与定位。以该算法为核心编制了C语言版本的2维DSMC计算程序。通过与经典文献算例对比,验证了该算法的有效性。利用该DSMC程序研究了真空腔室内喷淋头(showerhead)微孔孔径变化对流场分布均匀性的影响。中性参考气体为氩气,固定入口压力200Pa、温度300K。结果表明:增加微孔孔径有利于提高径向速度和温度分布的均匀性,而减小微孔孔径有利于提高径向压力分布的均匀性。
- 王春财程嘉季林红路益嘉孙钰淳林嘉
- 关键词：微孔DSMC数值模拟非结构网格
- 刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究被引量：1
- 2015年
- 450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。
- 段文睿田凌韩文彬
- 关键词：元建模
- 基于滑移界面耦合技术的旋转电机磁场仿真方法
- 2019年
- 提出了一种基于滑移界面耦合技术的旋转电机磁场仿真方法。首先,对旋转电机问题建立等效弱形式,用Lagrange乘子法施加Coulomb规范条件和滑移界面处的磁矢势连续性条件;然后,采用混合单元方法离散整个求解域中的未知量,采用棱边单元法离散滑移界面处的Lagrange矢量乘子,并采用多点约束法耦合滑移界面处的Lagrange标量乘子自由度,该方法无须在旋转电机模型的非匹配网格中构建生成树,即可自动保证磁矢势解的唯一性;最后,采用旋转线圈案例和简化的永磁同步电机案例验证了本文方法的有效性。
- 江鹏骞耕黄晓晓张群王平关振群
- 关键词：非匹配网格LAGRANGE乘子法
- 激光模切工位中风刀阻断除尘数值模拟
- 2022年
- 为了验证锂离子电池激光模切工位中除尘系统的可靠性,以激光模切工位腔体中喷射颗粒运动过程为研究对象,对腔体中粉尘颗粒运动过程进行仿真。提出了风刀射流风幕阻断除尘的工作原理,同时对整个风刀阻断除尘过程进行仿真研究,得到了粉尘颗粒运动轨迹规律,统计出腔体中粉尘颗粒最终去向占比依次为系统除尘(61.07%)>附着壁面(21.25%)>附着极片(10.01%)>逃逸(7.69%)。
- 杨铁牛胡金洲杜华娜林浩良
- 关键词：粉尘颗粒
