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中央高校基本科研业务费专项资金(2012QNZT002)

作品数：2 被引量：7H指数：2
相关作者：余志明魏秋平张益豪刘丹瑛孟令聪更多>>
相关机构：中南大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金粉末冶金国家重点实验室开放基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 2篇热丝
  • 2篇热丝化学气相...
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 1篇形核
  • 1篇梯度基
  • 1篇钛合金
  • 1篇溅射
  • 1篇过渡层
  • 1篇合金
  • 1篇反应溅射
  • 1篇TI6AL4...
  • 1篇TIC

机构

  • 2篇中南大学

作者

  • 2篇刘丹瑛
  • 2篇张益豪
  • 2篇魏秋平
  • 2篇余志明
  • 1篇龙芬
  • 1篇孟令聪
  • 1篇阳泰明

传媒

  • 1篇中国表面工程
  • 1篇粉末冶金材料...

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
梯度基体温度法和反应溅射TiC过渡层对钛合金基体沉积金刚石薄膜的影响被引量：4
2012年
以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6Al4V)平板基体上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的表面形貌、结构、成分和附着性能,研究了高温形核-低温生长的梯度降温法对原始钛合金和反应磁控溅射TiC过渡层的钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响。结果表明:原始基体区和TiC过渡层区沉积的金刚石薄膜平均尺寸分别为0.77μm和0.75μm,薄膜内应力分别为-5.85GPa和-4.14GPa,TiC层的引入可以有效提高金刚石的形核密度和晶粒尺寸的均匀性,并减少薄膜残余应力;高温形核-低温生长的梯度降温法可以有效提高金刚石的形核密度和质量,并提高原始基体上沉积金刚石薄膜的附着性能。
余志明张益豪魏秋平刘丹瑛孟令聪
关键词：过渡层热丝化学气相沉积
基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响被引量：3
2012年
采用热丝化学气相沉积法（HFCVD）在钛合金（Ti6A14V）表面沉积金刚石薄膜，研究基体温度对金刚石形核的影响，及梯度降温CVD技术（即高温梯度降温形核-低温生长）对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响。利用扫描电镜（SEM）、激光拉曼光谱（Raman）和维氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能。结果表明：基体温度较高时，基体表面钛原子和活性碳原子具有更高的能量，更利于活性碳原子向基体的扩散，促进碳化钛的形成，最终延长金刚石的孵化期；采用高温形核-1氐温生长的梯度降温法可以在550-600℃下沉积质量良好的金刚石薄膜；基体温度在30min内从800℃逐渐降温至550℃后再生长7h，所得金刚石薄膜样品具有较好的附着性能。
余志明张益豪魏秋平龙芬阳泰明刘丹瑛
关键词：热丝化学气相沉积金刚石薄膜TI6AL4V形核
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