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武器装备预研基金(9140c3103020604)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
刘春玲
张晶
薄报学
王玉霞
王丽娟
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相关机构:
长春理工大学
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么艳平
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王春武
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薄报学
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张晶
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2007
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多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究
被引量:4
2007年
为实现GaAs表面的钝化,以Na2S、(NH4)2S、CH3CSNH2为主要研究对象,通过对比实验研究得出较为理想的湿法钝化液。通过光致发光(PL)谱研究了(NH4)2S+叔丁醇、CH3CSNH2+NH4OH、CH3CSNH2+叔丁醇三种不同含硫溶液钝化(100)GaAs表面后的发光特性。PL谱测试发现,(NH4)2S+叔丁醇饱和溶液处理过的(100)GaAs表面光致发光强度最强,PL谱的相对发光强度是未做钝化处理的10倍左右。因此得出(NH4)2S+叔丁醇饱和溶液是较为理想的(100)GaAs表面钝化液。
刘春玲
张晶
么艳平
王玉霞
王春武
王丽娟
薄报学
关键词:
砷化镓
表面钝化
光致发光
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