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国家自然科学基金(61027008)
作品数:
8
被引量:9
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相关作者:
陈健
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朱冉
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2011
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超导量子比特中铝超导隧道结的性能
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2011年
超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.
沈丹丹
朱冉
许伟伟
常俊杰
吉争鸣
孙国柱
曹春海
陈健
关键词:
隧道结
电子束蒸发
超导量子比特
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