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国家重点实验室开放基金(20050457)
作品数:
1
被引量:21
H指数:1
相关作者:
邓丹
吴丰顺
安兵
吴懿平
刘辉
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相关机构:
华中科技大学
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发文基金:
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作者
1篇
刘辉
1篇
吴懿平
1篇
安兵
1篇
吴丰顺
1篇
邓丹
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微纳电子技术
年份
1篇
2010
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3D封装及其最新研究进展
被引量:21
2010年
介绍了3D封装的主要形式和分类。将实现3D互连的方法分为引线键合、倒装芯片、硅通孔、薄膜导线等,并对它们的优缺点进行了分析。围绕凸点技术、金属化、芯片减薄及清洁、散热及电路性能、嵌入式工艺、低温互连工艺等,重点阐述了3D互连工艺的最新研究成果。结合行业背景和国内外专家学者的研究,指出3D封装主要面临的是散热和工艺兼容性等问题,提出应尽快形成统一的行业标准和系统的评价检测体系,同时指出对穿透硅通孔(TSV)互连工艺的研究是未来研究工作的重点和热点。
邓丹
吴丰顺
周龙早
刘辉
安兵
吴懿平
关键词:
3D封装
金属化
散热
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