吉林省科技发展计划基金(20090105)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：刘彩霞瞿鹏飞董玮周敬然陈维友更多>>
- 相关机构：吉林大学中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 基于SOI非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器(英文)被引量：2
- 2011年
- 设计和分析了一种基于SOI(绝缘体上的硅)脊型波导非对称马赫曾德尔结构的集成矢量和微波光子移相器。对于10 GHz的微波信号,设定非对称两臂的长度差为3 983μm时,其相应的时间延迟约为47 ps。分别在两臂上集成了一个热光可调谐可变光衰减器用于光学调谐,当衰减单元的折射率在0～6×10-3变化时,实现了10 GHz微波信号在0～180°的相位调谐。该器件尺寸小、结构紧凑,易于实现片上集成,在光控相控阵雷达中很有应用前景。
- 肖永川瞿鹏飞周敬然刘彩霞董玮陈维友
- 关键词：移相器微波光子学
- ICP刻蚀在微加速度传感器制作中的应用被引量：1
- 2010年
- 针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了气体流量、射频功率和工作室气压设定值等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为40μm时深刻蚀的最佳工艺参数,即采用BOSCH工艺,压力设定为6Pa,在刻蚀过程中通入流量为100cm3/min的SF6气体,持续11s,射频功率20W,源功率450W,保护过程中通入流量为75cm3/min的C4F8气体,持续10s,射频功率0W,源功率220W,得到了最佳刻蚀结果,并利用此工艺制作出了量程为±12g,灵敏度为79mV/g,精度高于±2%微机械加速度传感器。
- 周敬然张海英瞿鹏飞董玮刘彩霞
- 关键词：加速度传感器反应离子刻蚀高深宽比深刻蚀
