浙江省自然科学基金(LY12F01015)
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
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- 初应力对FBAR厚度剪切模态谐振特性的影响
- 2013年
- 研究了含初应力压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度剪切振动的谐振特性。利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程。然后根据边界条件,求出问题的解,得到了串联和并联谐振频率,并讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响。给出了具体的数值算例,所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义。
- 黄德进罗昕逸王骥
- 关键词:薄膜体声波谐振器初应力谐振频率带宽
- 温度对FBAR拉伸模态下频率特性的影响
- 这篇文章研究了温度对压电薄膜谐振器(FBAR)拉伸模态下频率特性的影响。首先基于压电材料的压电弹性方程,推出FBAR在拉伸模态下的振动方程并设定其自由振动的边界条件。然后设定含有未知量的振动方程解的形式,通过边界条件确定...
- 黄德进蒋佳丽王骥
- 关键词:FBAR温度效应谐振特性
- 文献传递
- 初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响被引量:1
- 2013年
- 研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响。利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程。然后根据边界条件,求出问题的解。得到串联和并联谐振频率,并给出具体的数值算例,讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响。所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义。
- 黄德进王骥罗昕逸
- 关键词:薄膜体声波谐振器初应力谐振频率