浙江省教育厅科研计划(Y200805433)
- 作品数:3 被引量:21H指数:2
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- 基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件被引量:15
- 2014年
- 提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向,膜粗糙度小于9nm,适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件,该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线,实验结果与仿真结果具有很好的一致性。随着波长减小,谐振频率和相速度增加,当ZnO厚度为4μm,波长为8μm时,器件的谐振频率为268MHz,相速度为2 144m/s,机电耦合系数为1.1%;当ZnO厚度增加时,此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。
- 周剑何兴理金浩王德苗骆季奎
- 关键词:柔性衬底ZNO薄膜压电薄膜声表面波器件
- 射频功率放大器数字预失真技术及其发展趋势被引量:4
- 2010年
- 3G无线通信系统对功率放大器的设计提出了更加严格的要求。为了有效地利用宝贵的频谱资源,功率放大器既要保证高线性度以减小带外发射功率以及误码率,又要有较高的效率以减少电源消耗。在众多功放线性化高效率技术中,数字预失真技术被认为是最有效的解决方案,受到越来越多的关注。本文对数字预失真技术作了详细介绍,结合实例分析了当前主要的几种预失真模型和对应的预失真方案,并展望了Doherty放大器技术与数字预失真结合的应用方向。
- 沈小虎金浩王德苗
- 关键词:数字预失真DOHERTY功率放大器记忆效应
- 一种激光刻蚀制作圆柱形介质天线的方法被引量:2
- 2014年
- 圆柱形介质加载四臂螺旋天线因宽波束、圆极化、体积小等优点被认为是微小卫星天线的理想方案。为了解决介质加载四臂螺旋天线制作的难点,提出了一种全新的磁控溅射金属化加激光刻蚀的新工艺,采用计算机数控结合激光刻蚀的柔性加工技术,制作出3维立体的四臂螺旋结构,制备了应用于微小卫星系统的介质加载四臂螺旋天线,相对于传统工艺,大大提高了加工精度,并缩短了加工周期。结果表明,天线的电气性能达到了设计要求,且具有良好的机械性能。该研究为以后此类曲面共形天线的制作提供了参考。
- 周洋王德苗金浩郑小婵
- 关键词:激光技术介质天线磁控溅射