国家自然科学基金(51071147)
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 相关作者：刘濮鲲俞世吉郝保良陈振海伊福廷更多>>
- 相关机构：中国科学院电子学研究所北京大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
- 折叠波导行波管铪栅极退火温度及其性能(英文)被引量：2
- 2015年
- 在充分考虑电子枪栅极的工作环境后,对铪(Hf)栅极进行了800、900和1000℃的真空退火处理,对其组织、织构特点进行了分析,并利用离子束辅助沉积技术在Ba-W阴极表面分别沉积金属钼膜和铪膜,以模拟栅控行波管中钼栅极和铪栅极表面吸附阴极蒸发物质时的表面状态,测试了这两种栅极表面"热电子发射"能力和"二次电子发射"系数。结果表明,随着退火温度的升高,铪(Hf)栅极的结晶度、晶粒尺寸增加,织构减少,铪的最佳退火温度为900℃,铪栅极表面吸附的阴极发射物质要远少于钼栅极,用金属铪作栅极材料能有效抑制栅电子发射。
- 马天军陈振海俞世吉孙建海伊福廷刘濮鲲
- 关键词：退火铪织构二次电子发射
- 基于SU8厚胶制备折叠波导的工艺研究被引量：5
- 2014年
- 随着太赫兹(THz)技术的发展,真空电子器件越来越小型化,作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点,在高频结构中必将得到广泛的应用。开展了基于SU8厚胶,采用嵌丝式UVLIGA工艺制备折叠波导(FWG)互作用结构的工艺实验,主要包括无氧铜基体的制备、SU8厚胶的匀胶、烘胶、光刻、后烘、显影等工艺参数的摸索。
- 马天军郝保良刘濮鲲
- 关键词：UV-LIGA折叠波导
- 栅极毛坯制备复合模的设计研究
- 2013年
- 针对栅控脉冲行波管栅极毛坯的成形特点,经工艺分析及计算,采用落料、拉伸复合模具,完成浅球形栅极毛坯的拉伸工序过程。研究了模具结构、工作过程等对栅极毛坯成形的影响。
- 俞世吉马天军苏小保姚刘聪
- 关键词：栅极复合模
