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国家自然科学基金(50971035)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：杨波秦高梧王建省裴文利任玉平更多>>
相关机构：东北大学更多>>
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇颗粒膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射参数
  • 1篇FEPT
  • 1篇磁性能

机构

  • 1篇东北大学

作者

  • 1篇李松
  • 1篇任玉平
  • 1篇裴文利
  • 1篇王建省
  • 1篇秦高梧
  • 1篇杨波

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
FePt单层连续膜和颗粒膜的制备与磁性能研究被引量：1
2012年
利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜(TEM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响,利用振动样品磁强计(VSM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大,颗粒尺寸减小,从连续膜转变成颗粒膜;随着膜厚的增加,颗粒尺寸变大,从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构,从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大影响。随着溅射气压增加,形核场由正值转变成负值,矩形比有增大趋势;随着厚度的增加,无序-有序相转变更充分。
王建省裴文利杨波李松任玉平秦高梧
关键词：颗粒膜溅射参数
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