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光电集成加速度地震检波器中声光波导相位调制器的设计与实验被引量：1: 2005年; 提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.; 张燕君陈才和钟娟娟崔宇明吴波; 关键词：光电集成相位调制器 MOEMS 微光机电系统 IDT 硅基底

高精度硅微简谐振子的设计与制作工艺被引量：6: 2007年; 介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件——简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素.在实验中采用硅各向异性腐蚀法,制作出了高精度的硅微简谐振子.改进浓度配比的腐蚀液,在80℃时,腐蚀速率控制在(0.53±0.2)μm.测试结果表明:SiO2控制精度达到0.1μm,可应用于光电集成加速度地震检波器的集成光学器件中.; 恩德魏建霞徐可欣童峥嵘陈才和崔宇明斯琴李超; 关键词：微光机电系统简谐振子优化设计

硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计被引量：15: 2006年; 提出了一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器。对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计,采用K9玻璃作为基底层和包层材料,Bak7玻璃作为波导层材料,波导的宽度为4μm,厚度为0.4μm。M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲,为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构,应用波导转向镜实现了大角度光路转折,反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现,并利用BPM进行了仿真。为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化,加了4个长度为1 mm的TE模偏振器以保持其偏振态。实验结果与理论相符。; 张燕君陈才和吴波崔宇明马广鹏; 关键词：加速度计 M-Z干涉仪

高质量简谐振子的研制被引量：1: 2006年; 介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素,在试验中对各向异性腐蚀工艺进行了研究和改进,制作出了高质量的简谐振子。成功用于国家自然科学基金项目“光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究”的集成光学器件试验中。; 马广鹏陈才和唐东林崔宇明; 关键词：MOEMS 简谐振子优化设计各向异性腐蚀

光电集成加速度地震检波器系统的研究被引量：2: 2007年; 提出了一种基于 M-Z 光波导干涉型的新型光电集成加速度地震检波器,将光波导 M-Z 干涉仪、十字横梁硅质量块简谐振子、光波导偏振器单片集成在同一硅基底上,该系统在 GS1020组合振动测量仪(美国)上进行了测试,检测系统性能良好,能满足高精度、宽频带地震勘探要求.; 童峥嵘李超张卫华陈才和; 关键词：光电集成加速度计简谐振子 M-Z干涉仪信号处理

非对称3×3干涉型传感器解调系统设计被引量：2: 2007年; 针对3×3耦合器输出信号的非对称特性,研究并推导了改进型的3×3耦合器解调算法。根据该算法,使用Labview设计了信号处理软件。实现了对非对称3×3耦合器输出信号的软件解调和频谱分析。通过实验,系统的频率测量范围可达10～1000Hz,相位测量范围为-10～10rad,相位灵敏度为0.5V/rad。; 张诚王金海陈才和张波岳泉; 关键词：LABVIEW 软件解调

M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计被引量：12: 2004年; 提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。; 吴波陈才和张晓玲崔宇明张燕君钟娟娟; 关键词：集成光学 MOEMS 声光调制器相位检测

光电集成加速度地震检波器及其信号处理系统: 2007年; 研制出光电集成加速度地震检波器及其数字信号处理系统。该检波器将光波导M-Z干涉仪、十字横梁硅质量块简谐振子、光波导偏振器单片集成在同一硅基底上,并与光源、光电探测器、信号处理电路混合集成。数字信号处理系统以TI公司的高性能数字信号处理(DSP)芯片为核心,辅以必要的电路,实现了对加速度信号的高精度检测和误差信号的补偿。完成了实验样机的研制,测试结果表明主要性能指标达到设计要求。; 李超王剑陈才和许海东; 关键词：光电集成 MOEMS

Design of DSP-based Embedded Video Remote Monitoring System: 2009年; Presented is a scheme of an embedded video remote monitoring system based on TMS320DM642. Using DM642 as the data processing core, the remote monitoring system is composed of video acquisition module, video processing module and communication module, which gives an implementation of class/mini driver module in DSP/BIOS integrated developing environment and also a common task module in application layer is achieved. The system realizes the entire functions of the analog video signal acquisition, H.264 video coding and Internet transmission. It provides the general connection for the future development and has good flexibility and extendibility. The system uses a modular design and overall development of programming methods to improve the efficiency of system development.; CHEN Lei WANG Jin-hai DONG-le; 关键词：TMS320DM642 集成开发环境视频信号采集模块化设计

光电加速度传感器非对称3×3解调系统SOPC设计: 2007年; 介绍了集成光学芯片、光纤质量块简谐振子和可编程片上系统(SOPC)混合集成光学加速度计的设计方法.采用基于3×3耦合器的干涉系统进行光相位的调制.研究了在非对称情况下的解调算法,从而解决了由于非对称性造成解调结果失真的问题.应用SOPC技术设计和实现数字信号处理系统,实现信号处理与数据传输的并行工作,实验证明该系统可以实时、线性地跟踪到加速度信号.实际测量灵敏度为4.62V/gn,工作频带为1-1066Hz.; 王金海陈才和张诚张波岳泉; 关键词：加速度可编程片上系统

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