福建省教育厅资助项目(JA09017)
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
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- 相关机构：福州大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划福建省教育厅资助项目博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- 基于多孔氧化铝腐蚀的表面结构制备及其疏水性能研究被引量：1
- 2012年
- 先采用阳极氧化法在铝基板上制备了多孔氧化铝(AAO)膜,并以铝基AAO膜作为前驱物,采用化学腐蚀溶液分别制备出了具有纳米结构、微米结构和微纳复合结构表面的薄膜材料结构。利用扫描电子显微镜、荧光分光光度计和电子能量色散谱仪等测试手段分析了薄膜材料表面结构,并在薄膜表面涂覆低表面能物质氟硅烷薄膜研究这些表面结构的疏水性能。研究结果表明:通过控制化学腐蚀时间可以在铝基AAO膜表面分别获取纳米结构、微纳复合结构和微米结构;与未腐蚀的AAO膜表面相比,三种表面结构都有效提高了疏水薄膜表面的疏水性能;在NaOH溶液腐蚀16 min条件下,表面呈现微纳复合结构,具有超疏水性能,水的接触角达到155°。
- 张志坚于光龙杨尊先陈景水郑灼勇郭太良
- 关键词：多孔氧化铝超疏水
- 中频磁控反应溅射AlN薄膜及微观结构研究被引量：3
- 2010年
- 采用中频磁控反应溅射工艺进行了氮化铝薄膜的制备,对沉积速率、晶体结构和表面形貌与氮气流量和溅射功率之间的变化关系进行了研究。结果表明,通过调节N2流量和溅射功率选择性地获得非晶态和沿着c轴方向择优生长的晶态AlN薄膜。在化合物沉积模式下,增加溅射功率和增加反应气体流量均有利于获得非晶态AlN薄膜,并且减小薄膜表面粗糙度,获得光滑的AlN薄膜,并采用薄膜生长原理对这种现象进行了解释。
- 陈勇袁军林段丽杨雄翁卫祥郭太良
- 关键词：氮化铝薄膜沉积速率晶体结构表面粗糙度
- ZnO:Sn/Ag/ZnO:Sn复合薄膜电极的防氧化性能研究
- 2011年
- 随着分辨率的提高,传统金属电极在电阻率和抗氧化性能方面已经不适合作为需要高温热处理的场致发射显示器件中的薄膜电极。本文采用5.77%(原子比)Sn掺杂的ZnO:Sn作为Ag层的保护层,利用磁控溅射法制备ZnO:Sn/Ag/ZnO:Sn复合薄膜及其电极,并采用X射线衍射、光学显微镜、扫描电子显微镜和电性能测试系统研究复合薄膜及其电极在经过不同温度退火后的晶体结构、表面形貌和电学性能的变化。ZnO:Sn膜层致密,25 nm厚的ZnO:Sn足以保护Ag层在530℃的高温中不被明显氧化,电极电阻率低达2.0×10-8Ω.m左右。
- 李昱袁军林翁卫祥吴朝兴贾贞郭太良
- 关键词：薄膜电极抗氧化电阻率
