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国家杰出青年科学基金(60301006)
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
相关作者:
罗仲梓
吴清鑫
于映
陈光红
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相关机构:
厦门大学
苏州市职业大学
南京邮电大学
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发文基金:
福建省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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电子电信
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射频MEMS...
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氯苯
1篇
浸泡
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RF_MEM...
机构
2篇
南京邮电大学
2篇
苏州市职业大...
2篇
厦门大学
作者
2篇
陈光红
2篇
于映
2篇
吴清鑫
2篇
罗仲梓
传媒
1篇
苏州市职业大...
1篇
传感器与微系...
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1篇
2012
1篇
2009
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悬臂梁接触式RF MEMS开关的关键工艺研究
被引量:1
2009年
采用厚度为2μm的Au制作成共平面波导(CPW)、聚酰亚胺作为牺牲层、PECVD法淀积Si3N4薄膜作为悬臂梁,制作成悬臂梁接触式RF MEMS开关。着重对开关的关键工艺-CPV的Au剥离工艺和悬臂梁制作工艺进行研究,讨论了工艺中存在的问题及其解决方法。通过实验获得较佳的工艺参数,并制作出驱动电压为12-20V的悬臂梁接触式RF MEMS开关。
吴清鑫
陈光红
于映
罗仲梓
关键词:
射频MEMS开关
悬臂梁
射频MEMS开关中金属剥离工艺研究
2012年
研究用BP212正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZP4620正性光刻胶(浸泡氯苯)、AZ5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量.用扫描电镜(SEM)观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离.
陈光红
吴清鑫
于映
罗仲梓
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