中国博士后科学基金(20070410899)
- 作品数：2 被引量：11H指数：2
- 相关作者：张勇张飞虎栾殿荣宋孝宗赵万生更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学上海交通大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金哈尔滨工业大学科研创新基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 半导体硅材料微细电火花加工技术被引量：2
- 2008年
- 为了拓展微细电火花加工技术的应用领域,开展了半导体硅材料的微细电火花加工技术研究,从硅材料的抗腐蚀系数、掺杂浓度、掺杂类型以及硅材料的晶向特性等几方面对硅材料的微细电火花加工性能进行研究;在自主开发的微细电火花加工机床上进行了大量工艺实验,研究了不同加工规准下不同掺杂类型硅材料的微细电火花加工工艺规律,并与加工不锈钢材料的工艺规律进行对比分析;阐述了不同工作液类型对硅材料加工后性能的影响;在此基础上进行硅材料的微结构加工实验,给出加工实例.在N型硅和P型硅上分别加工出了最窄梁宽为23μm和12μm的微细梁,并在P型硅上实现了直径为0.15 mm的微半球以及外环直径为4mm,具有24个微型叶片的微型涡轮盘的加工.
- 张勇张广玉王振龙赵万生
- 关键词：微细电火花加工硅材料微结构
- 超精密纳米胶体射流抛光试验研究被引量：9
- 2008年
- 综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光。试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm。
- 宋孝宗张勇张飞虎栾殿荣
- 关键词：超精密加工抛光
