国防科技技术预先研究基金(9140A12020310JW2905)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 相关作者：刘海霞陈瑞芳花银群薛青叶云霞更多>>
- 相关机构：江苏大学更多>>
- 发文基金：江苏省高校自然科学研究项目国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 基于磁控溅射制备的纳米铜薄膜的激光微冲击试验被引量：1
- 2013年
- 应用激光微冲击强化处理技术,对不同磁控溅射参数下制备的纳米铜薄膜进行了强化处理,并对其表面形貌、硬度、弹性模量进行了测试和分析.结果表明:纳米铜薄膜经激光微冲击处理后,SEM显示薄膜表层的铜晶粒发生了明显的塑性形变,在厚度方向上被压平,晶粒边界处的细小空隙被填充,表面变得致密,颗粒尺寸明显增大.在每组试样的冲击区和非冲击区进行了多组纳米压痕试验,以确定冲击后铜薄膜力学性能的变化.经测试,各组试样冲击处理的条件不同,薄膜力学性能变化有所差异;硬度最小的也增加了38.84%,硬度增加最大的达到106.58%;弹性模量最小提高了14.62%,弹性模量最大提高了134.82%.
- 刘海霞叶云霞薛青陈瑞芳花银群
- 关键词：激光冲击磁控溅射显微硬度
