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电波环境特性及模化技术国家重点实验室基金(514860303HT0101)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
殷景华
贺训军
吴群
金博识
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相关机构:
哈尔滨理工大学
哈尔滨工业大学
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发文基金:
电波环境特性及模化技术国家重点实验室基金
国家自然科学基金
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相关领域:
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殷景华
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固体电子学研...
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1篇
2007
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分布式MEMS移相器电容开关时间响应特性研究
被引量:1
2007年
提出一种适合于分析微波分布式MEMS移相器静电驱动电容开关的开启时间和动态特性的新方法。采用IntelliSuite^(TM)模拟工具的SYNPLE模块研究材料、驱动电压、MEMS桥高度和共面波导信号线宽度对电容开启时间的影响。通过优化参数,分析结果表明:对于金电容开关,V=40 V、g_0=2.5μm和W=100μm,开关的开启时间为~7μs。
贺训军
吴群
金博识
殷景华
关键词:
微机电系统
电容开关
相控阵天线
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