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国家自然科学基金(J0721027)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：刘弘逸更多>>
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相关领域：轻工技术与工程电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇基片
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基片
  • 1篇薄膜电阻
  • 1篇测试技术

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇刘弘逸

传媒

  • 1篇现代仪器

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究被引量：1
2009年
提出硅基片生长薄膜的薄膜电阻的测试方法,利用方形四探针技术实现对较小硅基片上生长钴的薄膜电阻的测量,完成不同生长厚度下三片薄膜硅片的薄膜电阻测试工作,得出测试结果较可靠、合理的结论,同时对提高测试实验精度的影响因素进行分析。
刘弘逸
关键词：硅基片薄膜电阻测试技术
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