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上海市自然科学基金(12ZR1452200)

作品数：2 被引量：7H指数：2
相关作者：黄志明周炜吴敬欧阳程高艳卿更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇温度系数
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇红外
  • 1篇红外探测
  • 1篇负温度系数
  • 1篇锰
  • 1篇镍
  • 1篇铜
  • 1篇氧
  • 1篇钴
  • 1篇MN
  • 1篇MN1
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备
  • 1篇O

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇高艳卿
  • 2篇欧阳程
  • 2篇吴敬
  • 2篇周炜
  • 2篇黄志明
  • 1篇侯云

传媒

  • 2篇红外与激光工...

年份

  • 2篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
磁控溅射制备Mn-Co-Ni-O热敏红外探测薄膜被引量：3
2014年
尖晶石Mn-Co-Ni-O三元氧化物具有优良的负温度系数（NTC），是一种制作热敏红外探测器较为理想的材料。采用射频磁控溅射法在非晶Al2O3衬底上制备了Mn1.56Co0.96Ni0.48O4（MCNO）多晶薄膜。使用能量色散X射线谱（EDS）对薄膜中金属元素组分进行了测量，分析得出薄膜中金属元素组分与靶材中的组分偏离在5%以内。对经过750℃空气中退火后的薄膜结构、电学和光学性质也进行了研究。实验结果表明：退火后薄膜具有单一立方尖晶石结构，且薄膜表面致密、均匀性好；薄膜的传导机制遵循小极子跃迁传导，在240~330 K范围内符合VRH模型，其激活能和电阻温度系数（TCR）在室温下（300 K）分别为0.297 eV和-3.83%K-1；薄膜在紫外-可见波段具有较高的吸收率，间接带宽为0.61 eV。
欧阳程吴敬周炜高艳卿侯云黄志明
关键词：射频磁控溅射MN1红外探测
锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究被引量：4
2014年
报道了锰钴镍铜氧薄膜（Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4， MCNC，x=0,0.08,0.16,0.24）的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例，制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明，对于一定厚度及尺寸的薄膜器件，铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声，弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40 ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83＆#215;107 cm＆#183;Hz1/2W-1，相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外，对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。
周炜欧阳程吴敬高艳卿黄志明
关键词：负温度系数
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