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黑龙江省教育厅科学技术研究项目(11511089)
作品数:
1
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相关作者:
于翔
王磊
曹一江
韩爱珍
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相关机构:
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黑龙江省教育厅科学技术研究项目
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络合剂
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韩爱珍
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曹一江
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王磊
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于翔
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2008
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添加EDTA电共沉积GaAs薄膜工艺研究
2008年
采用恒电流电共沉积技术,以SnO_2导电玻璃为基片制备了Gabs薄膜。通过观察实验过程和对比各次实验结果,研究了在电解液中加入络合剂EDTA对成膜质量的影响以及实验过程中的烧焦现象和电火花现象。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)仪测试表明,沉积膜为GaAs多晶薄膜,加入络合剂EDTA明显改善了薄膜的表面形貌,提高了沉积膜的厚度,降低了各次实验数值分散性,而且使沉积膜中As与Ga的化学计量比更接近1:1。选择适当的沉积工艺可以避免烧焦和电火花的出现。
曹一江
王磊
于翔
韩爱珍
关键词:
络合剂
EDTA
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