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黑龙江省教育厅科学技术研究项目(11511089)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：于翔王磊曹一江韩爱珍更多>>
相关机构：哈尔滨理工大学哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇络合剂
  • 1篇EDTA

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇哈尔滨理工大...

作者

  • 1篇韩爱珍
  • 1篇曹一江
  • 1篇王磊
  • 1篇于翔

传媒

  • 1篇太阳能学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
添加EDTA电共沉积GaAs薄膜工艺研究
2008年
采用恒电流电共沉积技术,以SnO_2导电玻璃为基片制备了Gabs薄膜。通过观察实验过程和对比各次实验结果,研究了在电解液中加入络合剂EDTA对成膜质量的影响以及实验过程中的烧焦现象和电火花现象。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)仪测试表明,沉积膜为GaAs多晶薄膜,加入络合剂EDTA明显改善了薄膜的表面形貌,提高了沉积膜的厚度,降低了各次实验数值分散性,而且使沉积膜中As与Ga的化学计量比更接近1:1。选择适当的沉积工艺可以避免烧焦和电火花的出现。
曹一江王磊于翔韩爱珍
关键词：络合剂EDTA
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